Stop de schade aan de kwartsbuizen: houd je buizen in goede staat
In een systeem met hoge belastingen kan het gebeuren dat een infraroodlamp kapotgaat. Dat is geen probleem op zich, maar het veroorzaakt wel veel rommel. Stel je voor dat er stukken glas en halogengas rechtstreeks op je wafers terechtkomen. Eén kapotte lamp betekent dat al je producten nutteloos zijn. Daarnaast moet je nog urenlang de kamer schoonmaken. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen.
Omgaan met thermische schokken
De meeste buizen gaan kapot omdat de warmte niet gelijkmatig wordt verdeeld of omdat de buizen niet goed zijn gemonteerd. Dat leidt tot problemen. We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid, omdat dit materiaal bestand is tegen snelle opwarming en afkoeling. Maar het echte geheim zit in het centreren van de buizen. We zorgen ervoor dat de filamenten op precieze plaatsen zitten. Waarom? Omdat anders er ‘ hete punten’ op de wand van de buis ontstaan. Als één punt veel warmer wordt dan de rest, scheurt de kwartsbuis. Simpel gezegd: we zorgen ervoor dat de warmte gelijkmatig over de hele buis wordt verspreid, zodat er geen zwakke punten zijn.
Voorkomen dat er vuil in de kamer terechtkomt
Als een buis toch kapotgaat, wil je natuurlijk niet dat er vuil in je wafers terechtkomt. We lossen dit op op twee manieren. Ten eerste verstevigen we de sluitingen aan beide uiteinden van de lampen. Hierdoor lekt er geen gas naar buiten als een filament kapotgaat. Ten tweede raden we aan om een beschermende kwartshuls of een veiligheidsbeschermer te gebruiken. Denk erbij aan als een soort verzekering: als de buis kapotgaat, vangt de beschermer het glas op. Je hebt dan wel een kapotte lamp, maar de kamer blijft schoon.
De balans tussen vermogen en levensduur
Het probleem is dat het verhogen van het vermogen de componenten sneller door het systeem doet gaan. Maar dit zet de kwartsbuizen onder druk. Bij hoge temperaturen worden de buizen heter en beginnen de elektroden sneller slijten. Je moet dus een balans vinden tussen het vermogen en de levensduur van de buizen. Als je het vermogen te hoog instelt, zonder dat het systeem de tijd heeft om af te koelen, beschadig je alleen maar de lampen. Mijn advies: gebruik een preciseregelaar. Hierdoor worden de schokken in de spanning voorkomen, zodat de filamenten niet kapotgaan.