Op de productieafdeling is thermische afwijking tijdens het drogen van de wafers geen probleem dat alleen maar voor vertraging zorgt. Het kan zelfs leiden tot onjuiste dimensies van de wafers en daardoor tot verspilling van materiaal. We hebben een infraroodlamp ontwikkeld die wordt ondersteund door molybdeen. Hierdoor blijft de temperatuur binnen de gewenste grenzen – het systeem is dus reproduceerbaar en niet afhankelijk van de omgevingstemperatuur.
Wat technisch gezien belangrijk is: Het molybdeensysteem zorgt voor hoge temperatuurstabiliteit, met minimale uitstoot van gassen in schone ruimten van klasse 1–100. Hierdoor blijft het aantal deeltjes op een constant niveau. In combinatie met een goed afgestemde infraroodstraler, kan de temperatuur op het oppervlak van de wafers worden gehouden op ±0,1°C. De reactietijd is snel, zodat de thermische condities tijdens het drogen goed kunnen worden beheerd. De lamp blijft gedurende meer dan 5.000 uur stabiel, met minder dan 5% intensiteitsafwijking. De lamp past gemakkelijk in standaard halfgeleiderovens, met schone mechanische interfaces en reproduceerbare alignment.
Waarom dit in de praktijk werkt: Bij het drogen van wafers helpt het infraroodsysteem om het vocht op het oppervlak snel en gelijkmatig te verwijderen. Hierdoor ontstaan er geen oneffenheden of problemen aan de randen van de wafers. Tijdens het verwerken van fotoresist zorgt deze stabiele hitte voor een consistente verwerking, zodat de dimensies van de wafers nauwkeurig blijven. Het resultaat is minder herwerkwerk, minder afval en betrouwbare cyclustijden. De energieverbruik neemt ook af, want de lamp bereikt snel de gewenste temperatuur en houdt deze vast, zonder dat er overdreven warmte wordt gegenereerd.
De belangrijkste details: Voor een goede werking is nauwkeurige optische alignment en een stabiele stroomvoorziening nodig. Spanningspieken en verkeerd geplaatste reflectoren kunnen leiden tot hotspots. De lamp wordt erg heet, dus de bescherming en afsluitingen moeten in overeenstemming zijn met de veiligheidseisen van het apparaat. Het is belangrijk om de thermische beheersing goed te regelen, zodat de nabijgelegen componenten niet worden oververhit. Als deze details goed worden geregeld, kan het proces optimaal verlopen. De lamp fungeert dan als een vaste, reproduceerbare component in het productieproces.