Почему мы используем золото для инфракрасного нагрева
Когда вы работаете в чистой комнате с полупроводниковыми пластинами, потеря энергии — это не просто вопрос бюджета; это также серьезный недостаток конструкции оборудования. Большинство стандартных отражателей справляются со своей задачей, но они рассеивают инфракрасное излучение. В результате возникают проблемы с равномерным распределением тепла. Мы решили эту проблему, используя отражатели с золотым покрытием.
Почему именно золото? Потому что оно гораздо лучше справляется с инфракрасными волнами, чем алюминий или полированная сталь. Вместо того чтобы энергия тратилась на накопление тепла в корпусе нагревателя, почти каждый ватт направляется прямо на саму пластину.
Как добиться правильного распределения тепла
Все дело в том, как мы фокусируем излучение. Мы сочетаем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением с параболическими или эллиптическими отражателями с золотым покрытием. Это позволяет сосредоточить излучение в одной точке.
Результаты использования золотых отражателей
Скорость нагрева увеличивается, а профиль температур становится более равномерным. Это очень важно, ведь это предотвращает появление неоднородностей на поверхности кремниевых пластин, что может испортить процесс химического осаждения. Все работает более предсказуемо.
Недостатки
Конечно, есть и недостатки. Нельзя просто установить такие отражатели и забыть о них. Необходимо тщательно следить за чистотой отражателей. К тому же золото очень чувствительно к загрязнениям: даже один отпечаток пальца или тонкий слой пыли могут снизить эффективность работы отражателя. Необходимо строго соблюдать правила чистоты в чистой комнате. Еще один недостаток: из-за высокой концентрации тепла возникает дополнительная нагрузка на систему охлаждения. Если система охлаждения не справляется с этой нагрузкой, это может повредить окружающие датчики.
Преимущества
Самое главное — для достижения нужных температур требуется меньше энергии. Это простая замена, которая позволяет получить больший объем продукции без необходимости замены всего оборудования. Вы получаете больше результатов от уже используемой энергии.