На производственной площадке существуют определенные правила: даже небольшое изменение температуры в размере 1°C во время процесса обжига фотополимера может привести к изменению критических размеров изделий, что делает большое количество пластин бесполезными. Мы разработали специальные инфракрасные нагреватели для устранения этой проблемы.
Что действительно важно Мы используем инфракрасное излучение короткой длины волны, которое распространяется через кварцевую оболочку. Благодаря этому тепло достигает цели напрямую, быстро и контролируемо. Нагреватель поддерживает стабильную температуру на уровне ±0,1°C, что предотвращает возникновение температурных перепадов, влияющих на процесс экспозиции и обработки пластин. Устройство работает в чистых комнатах класса 1–100; контроль в реальном времени гарантирует отсутствие частиц в воздухе. Постоянство параметров выходного сигнала составляет 0,5% от целевого значения, а тепловая стабильность сохраняется более 5 000 часов с падением мощности менее чем на 5%.
Почему это полезно при литографии Благодаря такой стабильности упрощается процесс обжига фотополимера. Улучшается контроль над точностью формирования изображения, а количество необходимых корректировок снижается. Устройство быстро достигает заданной температуры, что позволяет сократить время обжига без нарушения термических параметров фотополимера.
Эти преимущества также применимы к процессам очистки и сушки пластин. Контролируемое нагревание способствует снижению количества поверхностных дефектов. Кроме того, экономится энергия, поскольку нагреватель нагревает сам объект, а не стены камеры.
Важные детали, которые необходимо учитывать Установка устройства должна быть выполнена с точностью: оптическая совместимость должна быть идеальной, а также необходимо использовать специальные устройства для стабилизации питания, чтобы избежать помех в работе устройства. Устройство может использоваться в стандартных установках производителя, но при этом необходимо учитывать тепловые условия и защиту от электромагнитных помех. Также необходимо регулярно проводить калибровку, особенно после замены лампы, чтобы сохранять стабильность параметров работы устройства.