На виробничій лінії теплові зміни під час процедури м’якого випалювання чи сушіння пластин не є просто перешкодою – вони також спричиняють зміни критичних розмірів та знижують якість продукції. Ми створили інфрачервону лампу на основі молібдену, яка дозволяє підтримувати потрібний температурний профіль – стабільний та передбачуваний, незалежно від умов у приміщенні.
Що є важливим з технічної точки зору
Основа з молібдену забезпечує високу стабільність при високих температурах та мінімальне виділення газів у чистих приміщеннях класу 1–100. Це дозволяє зберігати постійну кількість частинок у повітрі. У поєднанні з налаштованим інфрачервоним випромінювачем система забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини з точністю до ±0,1°C. Швидка реакція системи дозволяє ефективно контролювати тепловий бюджет під час процедур м’якого та жорсткого випалювання. Яскравість лампи залишається стабільною протягом понад 5 000 годин, з відхиленням менше 5%. Лампу можна встановити в стандартні печі для обробки напівпровідників; її механічні елементи забезпечують точну налаштуваність.
Чому це ефективно на практиці
Під час сушіння пластин інфрачервоне випромінювання швидко та рівномірно видаляє вологу з поверхні, тож не виникає проблем з тріщинами чи нерівномірністю поверхні, які виникають при нерівномірному нагріванні. Під час обробки фоторезисту така стабільна температура забезпечує якісне м’яке випалювання та можливість повторного жорсткого випалювання. Це дозволяє контролювати критичні розміри та параметри поверхні пластини. Результатом є менше необхідності в переробці, менше відходів та більш передбачувані часи виконання процедур. Крім того, споживання енергії також зменшується – лампа швидко досягає заданої температури та підтримує її без перевищень.
Які деталі є важливими
Встановлення лампи полягає у точній оптичній налаштуванні та стабільному енергопостачанні. Сплески напруги та неправильна налаштування відбивачів можуть призвести до появи „гарячих точок“. Лампа нагрівається, тож захисні елементи та механізми безпеки повинні відповідати вимогам безпеки обладнання. Необхідно правильно організувати систему керування теплом, щоб уникнути нагрівання сусідніх компонентів. Якщо все буде налаштовано правильно, процес буде ефективним. Лампа буде функціонувати як стабільний та передбачуваний елемент обладнання.