Ngừng việc làm nóng không khí: Cách tốt hơn để làm ấm các thiết bị vận chuyển chip
Nếu chúng ta thực sự muốn đạt được mục tiêu trung hòa khí carbon trong các nhà máy sản xuất chip, chúng ta cần ngừng lãng phí năng lượng. Nguyên nhân chính gây ra việc lãng phí năng lượng chính là các bộ sưởi truyền thống. Chúng cố gắng làm nóng toàn bộ không gian trong phòng sạch chỉ để duy trì nhiệt độ ổn định cho vài linh kiện. Điều này giống như việc làm nóng cả ngôi nhà chỉ để giữ cho một cốc cà phê luôn ấm vậy.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng các bóng đèn hồng ngoại tia ngắn được tích hợp trực tiếp vào các thiết bị vận chuyển chip. Thay vì làm nóng toàn bộ không khí, chúng ta chỉ cần tập trung nhiệt lượng vào chính vị trí nơi các wafer được đặt.
Tại sao bóng đèn hồng ngoại hiệu quả?
Không khí là chất dẫn nhiệt kém. Việc sử dụng bóng đèn hồng ngoại giúp chúng ta tránh được việc sử dụng trung gian dẫn nhiệt. Chúng ta sử dụng các linh kiện bằng thạch anh-halogen để truyền nhiệt trực tiếp vào bề mặt cần làm nóng. Quá trình này diễn ra rất nhanh. Điều này giúp giảm thời gian cần thiết để làm nóng, đồng thời giúp tiết kiệm năng lượng.
Giữ cho môi trường sạch sẽ
Phòng sạch yêu cầu rất cao về mức độ sạch sẽ. Bạn không thể đơn giản bỏ bất kỳ bộ sưởi nào vào đó, nếu không sẽ gây ra nhiều vấn đề liên quan đến bụi bẩn và khí thải. Chúng tôi sử dụng các lớp vỏ bọc bằng thạch anh có độ tinh khiết cao để giữ cho môi trường luôn sạch sẽ. Chúng tôi cũng phủ lớp phủ lên các linh kiện để điều chỉnh dải nhiệt được truyền ra. Điều này giúp đảm bảo rằng nhiệt lượng được truyền đến các wafer một cách hiệu quả, mà không làm hỏng khung của thiết bị vận chuyển chip.
Ngoài ra, chúng tôi còn thiết kế các bộ sưởi này sao cho chúng chỉ hoạt động khi cần thiết. Các bóng đèn chỉ hoạt động khi có tín hiệu từ cảm biến, tức là khi thiết bị vận chuyển chip di chuyển. Bạn không cần phải để lò sưởi hoạt động 24/7; bạn chỉ cần sử dụng năng lượng khi thực sự cần thiết.
Những thách thức
Tuy nhiên, việc sử dụng các bộ sưởi hồng ngoại cũng không hề đơn giản. Các bộ sưởi này tạo ra lượng nhiệt lớn trong một không gian nhỏ. Nếu bạn sử dụng quá nhiều công suất, có thể làm biến dạng thiết bị vận chuyển chip hoặc gây ra các vấn đề liên quan đến áp suất khí trong phòng sạch. Bạn cần tìm ra sự cân bằng giữa công suất, lưu lượng khí, và khả năng chịu đựng của thiết bị vận chuyển chip.
Nhưng một khi bạn tìm được sự cân bằng đó, bạn đã biến việc tiêu hao năng lượng thành một công cụ hiệu quả. Điều này rõ ràng là hợp lý.