Trong quy trình sản xuất, bạn biết rồi đấy: chỉ cần nhiệt độ tăng thêm 1°C trong quá trình sấy phim quang học cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer, khiến nhiều wafer bị hỏng và phải bị vứt bỏ. Chúng tôi đã chế tạo những bóng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại để loại bỏ yếu tố ngẫu nhiên này.
Điều quan trọng nhất là gì? Chúng tôi sử dụng tia hồng ngoại bước sóng ngắn, được bao bọc trong lớp thạch anh. Nhờ đó, nhiệt lượng được truyền trực tiếp đến vật liệu cần sấy, với tốc độ nhanh và khả năng kiểm soát cao. Trên toàn bề mặt wafer, nhiệt độ được duy trì ở mức ổn định, với sai số khoảng ±0,1°C. Điều này giúp tránh những sai lệch về nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến quá trình xử lý wafer. Bóng đèn này được sử dụng trong các phòng sạch loại 1–100, và việc giám sát liên tục cho thấy không có sự xuất hiện của các hạt bụi nào. Độ lặp lại của công suất đầu ra nằm trong khoảng 0,5% từ chu kỳ này sang chu kỳ khác; độ ổn định nhiệt độ duy trì được trong hơn 5.000 giờ, với mức giảm công suất dưới 5%.
Tại sao nó lại phù hợp cho quy trình in ấn? Trong quy trình in ấn, sự ổn định này giúp kiểm soát chặt chẽ quá trình sấy phim quang học. Việc kiểm soát độ dày lớp phim quang học trở nên chính xác hơn, và số lượng wafer cần sửa chữa giảm đi. Bóng đèn có thể đạt đến nhiệt độ mong muốn nhanh chóng, giúp rút ngắn thời gian sấy mà vẫn không làm vượt quá giới hạn nhiệt độ cho phép của phim quang học.
Điều tương tự cũng đúng với quy trình làm sạch và sấy khô wafer. Việc sưởi ấm đều đặn giúp giảm thiểu các khuyết tật trên bề mặt wafer. Ngoài ra, việc sử dụng bóng đèn này còn giúp tiết kiệm năng lượng, vì nó chỉ làm nóng vật liệu cần sấy, chứ không phải các bức tường của buồng sấy.
Những chi tiết cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt cần được thực hiện một cách chính xác: độ căn chỉnh quang học phải chính xác, và cần có thiết bị điều chỉnh điện áp để tránh những dao động điện áp có thể ảnh hưởng đến hiệu suất hoạt động của bóng đèn. Bóng đèn này có thể hoạt động tốt với các thiết bị OEM thông thường, nhưng cần lên kế hoạch tính toán kỹ lưỡng về khoảng cách nhiệt và việc bảo vệ khỏi nhiễu điện từ. Ngoài ra, cần có kế hoạch hiệu chuẩn định kỳ – đặc biệt sau khi thay thế bóng đèn – để đảm bảo mức độ ổn định của nhiệt độ luôn nằm trong giới hạn cho phép.