晶圆处理设备用温度传感器
简介 在处理晶圆时,温度并非仅仅是屏幕上显示的数字而已。它实际上决定了生产过程是否顺利——一旦温度控制不当,整批产品都可能报废。正因如此,我们设计了这款温度传感器,其核心目标就是确保每一瓦特的能量都能精确地施加到晶圆上,且时机也恰到好处。
秘诀何在?那就是我们采用的高效黄金涂层,以及我们独特的热量...
用于制造工具维修的红外线加热器
在晶圆厂车间,维修台不是可选项——它是工具重新投入生产前的最后一道关卡。哪怕偏差一度,也会在晶圆上表现为漂移。如果加热器无法保持温度,维修时间延长,设备闲置,生产计划开始延误。如果加热器脏污,颗粒会进入腔体,下一批次可能出现光刻胶缺陷。在工具维修中,加热器不仅仅是加热部件,它决定了工具能否干净地返...