في أرضية المصنع، لا يترك تقنيات الإنتاج بحجم 5 نانومتر أي مجال للخطأ. فارق درجة حرارة قدره 0.3 درجة مئوية على سطح الرقاقة قد يؤدي إلى تغيير في مواصفات الرقاقة، كما قد يترك آثارًا من المواد الكيميائية بعد عملية النقش. أما الطرق التقليدية للتجفيف، فهي لا تزال تترك الحواف رطبة. أما الطرق التي تعتمد على الدوران فقط، فهي تُهدر المذيبات، كما تسبب مشاكل في التخلص من الجسيمات الدقيقة.
لذلك، قمنا بتطوير لوحة إشعاع تحت الأحمر مزودة بنظام تحكم متعدد المناطق، للتخلص من هذه المشاكل في نفس المكان الذي تخرج منه الرقاقة من عملية الغسيل.
جوهر اللوحة هو استخدام أشعة تحت الأحمر ذات الطول الموجي القصير، مع نظام تحكم متعدد المناطق. كل منطقة في اللوحة تحافظ على استقرار درجة الحرارة في نطاق ±0.1 درجة مئوية، بحيث تحصل الرقاقة بأكملها على نفس درجة الحرارة. اللوحة رقيقة، ويمكن استخدامها في غرف نظيفة من الفئة 1–100، كما أن سطحها بارد بما يكفي للحفاظ على مستوى منخفض جدًا من الجسيمات الدقيقة.
النتيجة هي تجفيف موحد دون الحاجة إلى استخدام ضغوط عالية على المواد الكيميائية المستخدمة في عملية النقش. كما أن العمليات المتعلقة بالتسخين تظل كما هي، ويمكن التخلص من الطبقات المتبقية على الرقاقة دون الحاجة إلى إعادة التعرض للإشعاع.
في الواقع، يمكن تقليل وقت العملية وزيادة الكفاءة. يقل وقت التجفيف لأن الطاقة تصيب الطبقة المراد تجفيفها فقط، ولا تؤثر على الأجزاء الأخرى من الرقاقة. كما يقل استهلاك الطاقة لأن اللوحة تعمل فقط في المناطق النشطة، ويقل أيضًا وقت التوقف غير المخطط له بفضل التصميم الذي يسمح بالعمل على مدار 24 ساعة، بالإضافة إلى إمكانية استبدال الوحدات في الموقع.
النتيجة النهائية هي تجفيف موحد، واستهلاك أقل للمذيبات، بالإضافة إلى تحكم أفضل في مواصفات الرقاقة من خلال عمليات النقش والتجفيف.
عملية التركيب بسيطة، لكن شكل الغرفة مهم جدًا. يجب مطابقة حجم اللوحة مع حجم الجزء المخصص لها، بالإضافة إلى التأكد من وجود مساحة كافية لأجهزة التحكم الروبوتية. يمكن دمج اللوحة مع أنظمة التحكم الحالية من خلال واجهات قياسية، كما أن ضبط إعدادات اللوحة حسب احتياجات العملية يتم بسرعة في الموقع. يكفي تحديد الجهد ونوع الوصلة مسبقًا، لتجنب إعادة العمل.
لوحة التجفيف بالأشعة تحت الأحمر ليست حلًا مناسبًا لكل خط إنتاج. فهي أفضل في الحالات التي يكون فيها عدم التجانس الحراري هو العائق الرئيسي. إذا كان خط الإنتاج يسعى لتحسين الكفاءة في مراحل الإنتاج المتقدمة، فإن هذه اللوحة توفر التحكم اللازم للحفاظ على مواصفات الرقاقة.