Správné sušení čipů typu MEMS – bez problémů s kontaminací
Při sušení senzorů typu MEMS je teplo jen polovinou problému. Skutečný boj probíhá proti drobným částicím.
Pokud pracujete v čisté místnosti třídy 100, určitě víte, jak to funguje: stačí jeden malý únik plynu nebo jedna částice z topného prvku a celá várka čipů je zničena. Je to stresující způsob práce. Proto používáme lampy na infračervené záření vyrobené z vysoce čisté syntetické křemíkové skloviny.
Proč je křemík opravdu důležitý
Laciné sklo nebo levný křemík prostě nevydrží takové zatížení. Po několika teplotních cyklech začínají se rozpadat a uvolňovat mikroskopické částice. To rozhodně není dobré.
My používáme vysoce čistou spálenou křemičitou sklovinu – ta zůstává pevná i při extrémních teplotách a neuvolňuje žádné plyny. Skvělé na tom je, že infračervené záření působí přímo na vlhkost na povrchu čipu. Voda tak okamžitě odpaří, aniž by se celá komora proměnila v troubu.
Podrobnosti o konstrukci
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby se vešly do vaší zařízení. Křemíkový obal je hermeticky uzavřený, aby se zabránilo oxidaci vlákna – právě tam totiž obvykle začínají problémy s kontaminací. Díky řízení procesu halogenování uvnitř trubice zůstává vlákno hladké a předchází se tvorbě jam.
Ale pozor: musíte správně nastavit hustotu napětí podle velikosti konkrétního čipu. Samozřejmě, vyšší výkon urychlí proces sušení. Ale zároveň to vyvolává větší tlak na systém chlazení. Pokud to přehnanete, může dojít k deformaci čipu. Jde tedy o nalezení správné rovnováhy mezi délkou a výkonem, aby bylo teplo rovnoměrně rozloženo po celé ploše senzoru.
Několik tipů pro instalaci
Jedná se v podstatě o náhradní komponenty pro většinu zařízení na sušení čipů typu MEMS. Použili jsme standardní konektory, takže se nebudete potýkat s problémy s zapojením.
Jen upozornění: vysoce čistý křemík je křehký. Rád má teplo, ale nesnáší nárazy. Mechanický šok během instalace může způsobit mikrotrhliny, které možná ani neuvidíte.
A prosím, používejte rukavice bez chlupů. Oleje z vaší kůže mohou na skle vytvořit „horká místa“, což rychle vede k selhání trubice.