V prostředí výroby je poloviční odchylka teploty během měření polovodičových desek důvodem, proč se z kvalitních výrobků stanou odpadky, ještě než si vůbec uvědomíte, že se to stalo. Když je termální rozpočet omezený a harmonogram neodpuští žádné chyby, odhadování není možné.
Co je důležité uvnitř zařízení
Naše zařízení na ohřev polovodičových desek využívá emitor krátkovlnného infračerveného záření spolu s komponentami z kvarcu a keramiky s nízkou tepelnou hmotností. Díky tomu dosahujeme odezvy v řádu subsekund a rovnoměrnosti teploty na úrovni ±0,1 °C po celé aktivní ploše desky. Opakovatelnost teploty mezi jednotlivými procesy je ±0,05 °C – takže profile ohřevu zůstávají stabilní a nezměňují se v průběhu provozu.
Platforma je navržena pro provoz v čistých místnostech třídy 1–100. Povrchy jsou elektropolírovány a uzavřeny, přičemž nulová produkce částic je potvrzena pomocí čidel částic během kalibrace. Dodávka energie zůstává stabilní v rozmezí ±0,2 %, i když se napětí mění. Ohřívač dokáže fungovat 24/7 bez jakýchkoli plánovaných přestávek v vícesměnném provozu.
Proč je to v praxi důležité
Na straně sondy zajišťuje stabilní teplota čepu konzistentnost parametrů a opakovatelnost kontaktu mezi sondou a deskou. V krocích spojených s litografií chemie fotoresistu neodpouští nadměrné teploty – tento ohřívač je eliminuje, což znamená méně vad a méně práce na opravách.
Lepší termální kontrola také zlepšuje celkovou stabilitu zařízení. Méně nadměrných teplot znamená rychlejší stabilizaci, méně odpadků a vy neplýtváte energií na dosahování požadované teploty. Výsledkem jsou předvídatelné výsledky výroby a méně přerušení v průběhu výroby.
Detaily, které umožňují správné fungování
Instalace vyžaduje speciální napájecí zdroj s filtrem, který odpovídá parametrům exhalací zařízení a úrovni EMI. Rozhraní mezi sondou a čepem musí také odpovídat našemu termálnímu designu, pokud chcete dosáhnout požadované rovnoměrnosti teploty.
Očekávejte krátký proces kalibrace, během kterého se určí emisivita a lokalizují se „horké oblasti“ na desce. Jakmile je vše zarovnáno, proces může pokračovat.