Světelný zdroj pro měkké vytvrzování fotorezistu
Na fab floor není soft bake rozcvička. Nastavuje rozpočet litografie, tečka. Nejednotnost teploty se projevuje jako variabilita CD a zadržení...
Pájecí topení pro trvanlivý fotorezist
Na waferovém patře není vypalování přerušením – je to blokace procesu. Pokud se teplotní rovnoměrnost rozlíná přes fotorezist, vede to k variabilitě...