In der Fertigungshalle ist das Trocknen des Fotolacks keine einfache Temperatursteuerung – es hat direkten Einfluss auf die Qualität des Endprodukts. Wenn der IR-Heizer während des Trocknungsprozesses ungenau arbeitet, ändern sich die kritischen Abmessungen der Wafer, diese müssen anschließend entsorgt werden und die Produktion kommt zum Stillstand. Wir haben daher einen Spannungsregler entwickelt, um diese Unregelmäßigkeiten auszuschließen. Er hält den gewünschten Betriebspunkt konstant, selbst wenn die Netzspannung schwankt – dadurch bleibt die gewünschte Temperaturstabilität gewährleistet.
Was technisch wichtig ist: Der Regler wurde unter sauberen Bedingungen in einer Reinraumumgebung entwickelt. Er liefert eine stabile, rauschfreie Stromversorgung mit präziser Regelung. Dadurch wird eine Temperaturhomogenität von ±0,1°C auf der Oberfläche der Wafer erreicht – das wiederum sorgt für eine konstante Qualität des Fotolacks. Zudem werden keine zusätzlichen Partikel freigesetzt, und die verwendeten Materialien sowie Dichtungen sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Bei einem Dauerbetrieb von 7×24 Stunden soll es zu keinen unplanmäßigen Störungen kommen; die Lebensdauer liegt bei Zehntausenden von Stunden.
Warum dieser Regler in der Lithografie funktioniert: Wenn während des Prozesses Wärme benötigt wird, muss diese konstant bereitgestellt werden – von Wafer zu Wafer. Der Regler sorgt dafür, dass die Leistung des IR-Heizers von Anfang bis Ende konstant bleibt. Dadurch wird die Anzahl der Ausschusswaren sowie der Nacharbeitsaufwand reduziert. Durch die verbesserte Temperaturstabilität entstehen geringere Prozessabweichungen. Der Energieverbrauch sinkt, da das System Überhitzungen sowie unnötige Steuerzyklen vermeidet. Die Wartungsintervalle verlängern sich, und der Bedarf an Ersatzteilen verringert sich, da der Regler auf langlebige Komponenten sowie vorhersehbaren Verschleiß setzt.
Ein paar praktische Hinweise: Es ist wichtig, den Regler mit dem richtigen Typ von IR-Emittoren sowie der passenden Lastkurve zu kombinieren, um die gewünschte Homogenität und Stabilität zu erreichen. Bei der Installation muss auf eine sorgfältige Wärmebehandlung sowie auf Kabel, die für Reinräume geeignet sind, geachtet werden – damit es keine Hotspots oder Kontaminationen gibt. Planen Sie außerdem eine kurze Inbetriebnahmephase ein, um die PID-Parameter für Ihre spezifischen Trocknungsanlagen anzupassen.