
دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در فرهای ویفر، هدر برود!
وقتی که قصد ساخت فری مناسب برای استفاده در اتاقهای پاکسازی را دارید، هدف اصلی شما این است که گرمای تولید شده از عناصر گرمایشی به ویفر منتقل شود. ساده، درست است؟ اما مشکل اینجاست که بخش زیادی از انرژی تولید شده، در دیوارههای فر جذب میشود و در واقع به کار نمیآید.
ما راهی برای حل این مشکل پیدا کردیم: استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا.
احتمالاً تا به حال از بازتابندههای آلومینیومی معمولی استفاده کردهاید. آنها خوب هستند، اما انرژی زیادی را جذب میکنند. اما طلا اوضاع را تغییر میدهد؛ زیرا درصد بالاتری از انرژی مادون قرمز را دوباره به سمت ویفر بازمیگرداند.
چرا طلا؟
فکر کنید یک لامپ مادون قرمز چگونه کار میکند؛ این لامپ انرژی را در همه جهات پرتاب میکند. بدون بازتابنده مناسب، در واقع نصف انرژی تولید شده را هدر میدهیم.
با اضافه کردن لایه نازکی از طلا به بدنه فر، میتوانیم از نشت انرژی جلوگیری کنیم. این کار باعث میشود فوتونها دوباره به سمت ویفر بازگردند. نتیجه؟ گرمای تولید شده در سطح ویفر یکنواخت خواهد بود. دیگر نیازی نیست حدس بزنیم که آیا لبههای ویفر به همان اندازه مرکز آن گرم هستند یا خیر.
معایب و راهحلها
البته، این روش هم معایبی دارد. وقتی انرژی زیادی در فضای کوچکی متمرکز میشود، دمای آنجا بسیار بالا میرود. لامپ نیز دمای بالایی خواهد داشت. اگر سیستم خنککننده مناسبی نداشته باشید، لولههای کوارتز لامپ خیلی سریع آسیب خواهند دید. بنابراین باید بین کارایی لایه طلا و جریان هوای کافی، تعادل برقرار کنیم تا فیلامنتها آسیب نبینند.
نحوه استفاده در اتاقهای پاکسازی
خوبی این روش این است که این بازتابندهها به عنوان جایگزینهای ساده قابل استفاده هستند؛ نیازی نیست کل سیستم را تغییر دهید.
از آنجایی که سیستمهای پوشیده شده با طلا، از نظر کارایی بر حسب وات، بهتر هستند، میتوانید میزان انرژی مورد نیاز فر را کاهش دهید، بدون اینکه سرعت کار فر کاهش یابد. سیستم تهویه هوای اتاق نیز از این امر سپاسگزار خواهد بود؛ زیرا دمای اتاق چندان بالا نخواهد رفت.
یک نکته مهم: حتماً سیمکشی را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که سیمها برای ولتاژ مشخص لامپ مناسب باشند. اگر ولتاژ کافی نباشد، مناطق گرمایشی نامتوازن خواهند بود، و این امر باعث شکست کل سیستم خواهد شد.