جلوگیری از فاجعه ناشی از پاره شدن لامپهای مربوط به فرآیند پردازش ویفرها
بیایید صادق باشیم: پاره شدن یک لامپ مادون قرمز در دستگاههایی که تحت بار سنگین کار میکنند، واقعاً یک فاجعه است. مسئله فقط خاموش شدن دستگاه برای چند ساعت نیست؛ بلکه پاکسازی فضای دستگاه نیز یک مشکل بزرگ است.
وقتی که لوله کوارتز در حین کار روی ویفر سیلیکونی پاره میشود، تکههای شیشه و گاز هالوژن روی سطح ویفر ریخته میشوند. در این صورت، ویفرها از کار میافتند و تیم کاری مجبور میشود کل فضای پاکسازی شده را تمیز کند. این واقعاً یک مشکل دردسرساز است.
دقیقاً به همین دلیل است که ما لامپهای مورد استفاده در فضاهای پاکسازی را به این شکل طراحی کردهایم.
دلایل پاره شدن لولهها
معمولاً، دلیل پاره شدن لولهها، شوک حرارتی یا وجود نقاط گرم در مناطق خاص است. ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ چرا که این کوارتز در برابر تغییرات دما مقاومت خوبی دارد. همچنین، فیلامنت لامپ نیز در مرکز لوله قرار میگیرد؛ این کار باعث میشود حرارت در جای مناسب خود باقی بماند.
جلوگیری از آلودگی
برای جلوگیری از آلودگی، لامپها را در پوششهای کوارتزی با مقاومت بالا قرار میدهیم؛ یا از روکشهای ویژهای برای مقاومت در برابر شکستن لامپ استفاده میکنیم. این کار مانند یک تور ایمنی عمل میکند؛ اگر لامپ داخلی خراب شود، لایه بیرونی از ورود تکههای شیشه به ویفرها جلوگیری میکند.
همچنین، ما اتصالات لامپها را نیز تقویت کردهایم؛ چرا که اتصالات ارزانقیمت میتوانند باعث ایجاد ذرات فلزی در جریان هوا شوند. ما این اتصالات را ثابت کردهایم تا محیط کاری باقی بماند.
معایب
معایب این روش این است که استفاده از این لایههای ایمنی باعث میشود مقدار کمی از تشعشعات مادون قرمز مسدود شود. در نتیجه، دمای ویفرها کمی کاهش خواهد یافت. البته این مشکل چندان بزرگی نیست؛ اما ممکن است نیاز باشد توان لامپ را افزایش دهید یا ویفرها را برای مدت بیشتری در محیط مورد نظر نگه دارید تا به دمای مورد نظر برسند. حتماً مطمئن شوید که منبع تغذیه میتواند بار اضافی را تحمل کند؛ تا در میانه فرآیند تولید، مشکلی پیش نیاید.