دیگر اجازه ندهید انرژی گرمایی هدر برود!
گرم کردن ویفر سیلیکونی نیازمند دقت زیادی است. اما اگر تا به حال با دستگاههای IR استاندارد کار کردهاید، میدانید که مشکل اصلی، هدر رفتن انرژی گرمایی است.
این انرژی مزاحم، به جای رسیدن به ویفر، مستقیماً به دیوارههای داخلی محفظه خلا برخورد میکند. در نتیجه، سطح بیرونی دستگاه به قدری گرم میشود که میتواند باعث سوختن افراد شود؛ در حالی که انرژی مصرفی نیز هدر میرود.
ما این مشکل را با تعیین دقیق مسیر انتقال انرژی گرمایی، برطرف میکنیم.
تمرکز صحیح پرتو گرما
اکثر لامپهای IR، انرژی گرمایی را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی در زاویه ۳۶۰ درجه. این روش برای دستگاههای مربوط به ویفرها مناسب نیست.
در عوض، ما از فرستندههای IR با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این فرستندهها همراه با بازتابندههایی هستند که به منظور تمرکز پرتو گرما طراحی شدهاند. میتوان آن را مانند تغییر از لامپ معمولی به چراغ قوه در نظر گرفت. انرژی گرمایی مستقیماً روی سطح ویفر تمرکز میشود و پخش نمیشود.
نتیجه؟ منطقه گرمایی متمرکز و کوچک. از آنجایی که فوتونها از برخورد با بدنه دستگاه جلوگیری میشوند، دیوارههای دستگاه سرد باقی میمانند.
مزایا و معایب
برای اینکه این روش کار کند، از لامپهای کوارتز با چگالی انرژی بالا استفاده میکنیم. این لامپها مقاوم هستند و میتوانند فشار حرارتی ناشی از تولید انرژی گرمایی را تحمل کنند. اما باید مطمئن شوید که منبع تغذیه دستگاه بتواند ولتاژ مورد نیاز این لامپها را تأمین کند.
اما مشکل اینجاست که بازتابندهها فضای بیشتری نسبت به لامپهای معمولی اشغال میکنند؛ بنابراین نمیتوان آنها را در فضای محدود دستگاه قرار داد، مگر اینکه فاصلهها به دقت مشخص شوند. همچنین، باید در نصب بازتابندهها دقت کرد؛ اگر بازتابنده حتی چند میلیمتر از محل مناسب خود منحرف شود، نقطه گرمی روی ویفر ایجاد خواهد شد و فرآیند گرم کردن ویفر خراب خواهد شد.
حفظ عملکرد دستگاه
بهترین ویژگی این روش، این است که دیگر نیازی نیست به فنهای خنککننده بزرگ و پرسر و صدا روی بدنه دستگاه تکیه کنیم. این کار باعث ایمنتر شدن محیط برای کسانی میشود که از دستگاه استفاده میکنند.
هنگام اتصال این لامپها، حتماً نقاط تماس آنها را بررسی کنید تا مطمئن شوید که هیچ اکسیداسیونی وجود ندارد. این لامپها جریان الکتریکی زیادی مصرف میکنند؛ هرگونه مقاومت در نقاط تماس میتواند باعث خرابی کانکتورها شود.
لطفاً بازتابندهها را تمیز نگه دارید؛ کمی گرد و غبار روی سطح بازتابندهها میتواند باعث از بین رفتن تمرکز پرتو گرما شود و انرژی گرمایی دوباره به دیوارههای دستگاه برخورد کند.