در کارخانههای تولیدی، استفاده از فناوری ۵ نانومتری، هیچ فضایی برای خطا یا ناهماهنگی باقی نمیگذارد. حتی ۰.۳ درجه سانتیگراد تفاوت دما در سطح ویفر، میتواند باعث تغییراتی در کیفیت سطح ویفر شود؛ همچنین باقیماندههای فوتورزیست نیز پس از فرآیند اتچینگ باقی میمانند. روشهای معمول خشک کردن نیز مشکلاتی دارند؛ لبههای ویفر همچنان مرطوب باقی میمانند. روشهای خشک کردن مبتنی بر چرخش، مواد حلال را هدر میدهند و باعث ایجاد ذرات ناخواسته میشوند.
ما یک پنل مادون قرمز منطقهای ساختیم تا این ناهماهنگیها را در همان مرحله خروج ویفر از محیط تمیز، از بین ببرد. هسته این پنل، مادون قرمز با طول موج کوتاه است؛ هر منطقه از پنل، دمایی ثابت در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد دارد؛ بنابراین کل ویفر دمای یکسانی خواهد داشت. این پنل بسیار نازک است و مناسب اتاقهای تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین سطح آن به اندازه کافی خنک است تا ایجاد ذرات ناخواسته را به حداقل برساند.
در نتیجه، خشک کردن ویفر به صورت قابل تکرار انجام میشود، بدون اینکه فوتورزیست تحت فشار قرار بگیرد. فرآیندهای خشک کردن نیز بدون مشکل انجام میشوند؛ همچنین میتوان مواد باقیمانده روی ویفر را بدون نیاز به تکرار فرآیند، از بین برد.
در عمل، زمان پردازش و بازدهی بهبود مییابد؛ زمان خشک کردن کاهش مییابد، زیرا انرژی فقط بر روی لایههای فوتورزیست تأثیر میگذارد، نه روی سطح ویفر. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا فقط مناطق فعال از پنل استفاده میشوند؛ همچنین زمان توقف غیرمنتظره نیز کاهش مییابد، زیرا این پنل میتواند ۲۴ ساعته کار کند و ماژولهای آن قابل تعویض هستند.
در نهایت، شکستن ذرات روی ویفر به طور یکنواخت انجام میشود، مصرف مواد حلال کاهش مییابد و کنترل دقیقتری بر کیفیت سطح ویفر امکانپذیر میشود.
نصب این پنل ساده است، اما شکل گئومتری محفظه نیز مهم است؛ باید ابعاد پنل با ابعاد چاک اتصال هماهنگ شود و فاصله لازم برای اتصال رباتها نیز در نظر گرفته شود. این پنل از طریق رابطهای استاندارد، با سیستمهای کنترل موجود ادغام میشود؛ تنظیمات لازم برای این پنل نیز به راحتی انجام میشود. کافی است ولتاژ و نوع کانکتور را از قبل مشخص کنید تا از تکرار کارها جلوگیری شود.
خشک کردن ویفر با استفاده از پنل مادون قرمز منطقهای، راهحلی جهانی برای تمام خطوط تولید نیست؛ این روش برای مواردی که یکنواختی دما محدودکننده اصلی است، مناسب است. اگر خط تولید شما در حال تلاش برای بهبود بازدهی در فناوریهای پیشرفته است، این پنل کنترل لازم برای حفظ کیفیت سطح ویفر را فراهم میکند.