Éviter le cauchemar des défaillances des lampes infrarouges dans le traitement des wafers
soyons honnêtes : une lampe infrarouge qui se brise dans un équipement à forte charge représente vraiment un désastre. Il ne s’agit pas seulement du fait que l’équipement doit cesser de fonctionner pendant quelques heures. Il y a aussi toute la corvée de nettoyage qui en résulte.
Lorsqu’un tube en quartz se brise au-dessus d’un wafer en silicium, des éclats de verre et du gaz halogène se retrouvent directement sur le substrat. Votre lot de produits est alors ruiné, et votre équipe doit nettoyer toute la salle propre. C’est un vrai problème que personne ne veut rencontrer.
C’est précisément pour cette raison que nous avons conçu nos lampes infrarouges de manière à éviter ce genre de problèmes.
Pourquoi les tubes se brisent-ils ?
Généralement, cela est dû à des chocs thermiques ou à des zones chaudes localisées. Nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté, qui ne se détériore pas lorsque la température change. Ce type de quartz peut supporter des variations de tension sans se briser.
Il y a aussi le problème de l’usure prématurée des lampes bon marché. Cela se produit lorsque le filament s’affaisse ou touche les parois du tube. Nous résolvons ce problème en centrant le filament avec une précision infime. C’est une exigence stricte, mais cela permet de garder la chaleur là où elle doit être : au centre du tube.
Éviter le désordre
Pour ajouter une couche de protection supplémentaire, nous enveloppons les lampes dans des enveloppes en quartz haute résistance, ou bien nous utilisons des revêtements résistants aux chocs.
Imaginez-le comme un filet de sécurité. Si la lampe intérieure tombe en panne, la couche extérieure retiendra tous les éclats de verre. Ainsi, aucun éclat ne tombera sur vos wafers.
Nous avons également renforcé les connecteurs. Les terminaux bon marché peuvent provoquer des étincelles, ce qui entraîne la libération de petites particules métalliques dans l’air. Nous avons donc sécurisé ces points de contact afin que l’environnement reste propre.
Les compromis à accepter
Le problème, c’est que l’ajout de ces couches de protection entraîne une légère réduction de la transmission des rayons infrarouges. Vous noterez donc une légère baisse de la chaleur produite par rapport à une lampe sans revêtement particulier.
Ce n’est pas un gros problème, mais vous devrez peut-être augmenter la puissance de la lampe ou laisser les wafers sous influence thermique un peu plus longtemps pour atteindre la température souhaitée. Assurez-vous simplement que votre alimentation électrique puisse gérer cette charge supplémentaire, afin d’éviter que les disjoncteurs ne sautent au milieu d’une production.