Arrêtez de gaspiller de la chaleur dans vos outils de chauffage des wafers
Le chauffage d’un wafer en silicium exige une grande précision. Mais si vous avez déjà travaillé avec des systèmes IR standards, vous connaissez bien le problème : la chaleur inutile. C’est cette énergie infrarouge gênante qui ne touche pas du tout le wafer, mais se concentre plutôt sur les parois intérieures de la chambre à vide. En un rien de temps, l’extérieur de la machine devient tellement chaud qu’il peut brûler quelqu’un. En somme, c’est de l’énergie gaspillée.
Nous résolvons ce problème en contrôlant mieux où va réellement la chaleur.
Focaliser le faisceau de chaleur
La plupart des lampes IR émettent de la chaleur dans toutes les directions – un faisceau de 360 degrés. Dans un outil de chauffage de wafers, cela est inutilement inefficace.
Au lieu de cela, nous utilisons des émetteurs à ondes courtes couplés à des réflecteurs conçus pour concentrer le faisceau de chaleur. Imaginez plutôt utiliser une lampe de poche plutôt qu’une ampoule ordinaire : l’énergie est ainsi concentrée directement sur la surface du wafer, sans s’éparpiller.
Résultat ? Une zone de chaleur bien ciblée. Comme les photons ne touchent pas le boîtier de l’appareil, ses parois restent froides.
Les compromis dans la pratique
Pour que cela fonctionne, nous utilisons des lampes en quartz à haute densité de puissance. Ces lampes sont résistantes et peuvent supporter les fortes tensions thermiques générées par une émission de chaleur concentrée. Attention cependant : assurez-vous que votre alimentation électrique puisse supporter la chute de tension requise par ces lampes à haute densité.
Mais il y a un inconvénient : les réflecteurs directionnels prennent plus de place qu’une lampe ordinaire. Il est impossible de les installer dans un boîtier étroit sans vérifier soigneusement les espacements. De plus, il faut être très précis lors de l’installation. Si un réflecteur n’est pas correctement positionné, même de quelques millimètres, cela provoquera des points chauds sur le wafer, ce qui gâchera complètement le processus de chauffage.
Maintenir le fonctionnement optimal
Le meilleur avantage du chauffage directionnel, c’est qu’on n’a plus besoin de ces ventilateurs bruyants pour refroidir l’appareil. Cela rend le sol plus sûr pour ceux qui manipulent l’appareil.
Lorsque vous installez ces lampes, vérifiez bien que les contacts ne soient pas oxydés. Ces lampes consomment beaucoup de courant ; toute résistance aux bornes peut entraîner la destruction du connecteur.
Et surtout, gardez les réflecteurs propres. Un petit peu de poussière sur leurs surfaces peut troubler la concentration du faisceau de chaleur, envoyant ainsi toute cette chaleur directement dans les parois de l’appareil.