בחדר הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך בדיקת הווה-השבב יכול להפוך כמות גדולה של שבבים לפסולת, לפני שאפילו מבינים שזה קרה. כאשר המגבלות התרמיות קפדניות והלוח הזמנים אינו מאפשר טעויות, אין אפשרות להסתמך על הערכות בלבד.
מה חשוב באמת? יצרנו את מערכת החימום של וה-שבב על בסיס גוף פלט אינפרא-אדום בגלים קצרים, בשילוב עם חומרי קוורץ וקרמיקה בעלי מסה תרמית נמוכה. דבר זה מאפשר תגובה מהירה בתוך שניות בודדות, ואחידות של טמפרטורה של ±0.1°C בכל שטח הווה-השבב. החזריות של הטמפרטורה בין סדרות הייצור היא ±0.05°C, כך שהפרופילים של תהליך החימום נשארים יציבים, ללא שינויים.
המערכת מיועדת לפעולה בחדרי ייצור מסוג Class 1–100. המשטחים מושלמים באמצעות תהליכי אלקטרופוליש, ואין ייצור של חלקיקים, כפי שנבדק באמצעות מדי חלקיקים במהלך הבדיקות. אספקת האנרגיה נשארת יציבה בטווח של ±0.2%, גם כאשר מתח החשמל משתנה. המערכת יכולה לפעול 24/7 ללא הפסקות.
למה זה חשוב בפועל? מבחינת המערכת לבדיקת הווה-השבב, טמפרטורה יציבה של החלק האחראי על ההחזקה של הווה-השבב היא חיונית כדי שהנתונים הפרמטריים יהיו עקביים וההתאמה בין החלקים תהיה אמינה. בשלבי הייצור הקשורים לליתוגרפיה, הכימיה של החומרים המשמשים אינה סובלת טמפרטורות גבוהות מדי – המערכת הזו מונעת זאת, כך שיש פחות פגמים ופחות צורך בעבודה חוזרת.
שליטה תרמית טובה גם מאפשרת יציבות גדולה יותר בתהליך הייצור. פחות שינויים בטמפרטורה אומרים יציבות מהירה יותר, פחות פסולת, ואין צורך בשימוש באנרגיה יתרה. התוצאה היא תפוקה יציבה ופחות הפרעות בין סדרות הייצור.
הפרטים שגורמים להצלחת המערכת ההתקנה דורשת מקור אנרגיה מיוחד, שמתאים לדרישות המערכת. כמו כן, יש צורך שהממשק של חלק ההחזקה של הווה-השבב יתאים למערכת התרמית שלנו, כדי להשיג את האחידות הרצויה.
יש צורך בבדיקות קצרות כדי לכייל את המערכת ולאתר את האזורים החמים בווה-השבב. לאחר שהמערכת מיושבת כראוי, התהליך יכול להתנהל בצורה יציבה.