फैब फ्लोर पर, आप प्रक्रिया से परिचित हैं। फोटोरेसिस्ट बेक के दौरान 0.2°C का ड्रिफ्ट क्रिटिकल डायमेंशंस को स्पेक से बाहर कर सकता है और बहुत कुछ स्क्रैप में बदल सकता है। आप सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक दोनों पर कड़े थर्मल बजट के साथ लिथोग्राफी चलाते हैं, और वह एमिटर स्टैक बार-बार समान तापमान प्रदान करना चाहिए, बिना किसी बहाने के, हर साइकिल में।
क्या महत्वपूर्ण है
हमारा सेरामिक एंड कैप IR एमिटर असेंबलियों के लिए सब-मिलीमीटर थर्मल फील्ड कंट्रोल के इर्द-गिर्द बनाया गया है। सेरामिक बॉडी एमिटिंग जोन को स्थिर करता है, माइक्रो-आर्किंग और हॉट स्पॉट्स को खत्म करता है, जबकि इसकी ज्यामिति वेफर पर पावर वितरण को समान रखती है। व्यावहारिक रूप में, इसका मतलब है बेक जोन में ±0.1°C की समानता और आप लॉट के बाद लॉट भरोसेमंद दोहराव की उम्मीद कर सकते हैं। यह स्टैंडर्ड हैलोजन/NIR एमिटर बॉडी में आसानी से फिट हो जाता है, इसलिए स्पेक्ट्रल आउटपुट पूर्वानुमानित रहता है और सॉफ्ट बेक व हार्ड बेक के लिए तापमान सेटपॉइंट स्थिर रहते हैं।
फोटोरेसिस्ट में इसका महत्व
फोटोरेसिस्ट प्रोसेसिंग में यील्ड स्थिर तापमान पर निर्भर करता है, न कि पीक तापमान पर। इस सेरामिक एंड कैप के साथ, आपको लगातार वेफर-स्तरीय थर्मल प्रोफाइल मिलते हैं जो लाइन-विड्थ कंट्रोल को विंडो के अंदर रखते हैं, एज बीड इफेक्ट्स कम करते हैं, और क्लास 1–100 क्लीनरूम में पार्टिकल काउंट को न्यूनतम रखते हैं। इसका परिणाम कम रीवर्क, स्थिर CDs और ऐसी थ्रूपुट है जो अत्यधिक उतार-चढ़ाव नहीं दिखाती। साथ ही, ऊर्जा की बचत होती है क्योंकि थर्मल पाथ कुशल है और एमिटर स्थिर चलता है बिना ओवरशूट के।
इंस्टालेशन और रखरखाव की वास्तविकताएं
सेरामिक एंड कैप स्टैंडर्ड एमिटर माउंट्स के साथ काम करता है, लेकिन एलाइन्मेंट सख्त होता है। इंस्टालेशन के दौरान 100 माइक्रोन से कम कॉन्सेंट्रिसिटी की योजना बनाएं—मिसअलाइन्मेंट थर्मल फील्ड को विकृत कर देगा और असममिति के रूप में दिखाई देगा। इसे 24/7 ऑपरेशन के लिए बनाया गया है, जिसमें मेंटेनेंस विंडोज़ नियमित एमिटर रिप्लेसमेंट के साथ मेल खाते हैं। और जब आप एमिटर बदलते हैं, तो प्रोसेस रिपीटेबिलिटी बनाए रखने के लिए थर्मल सोक टाइम का बजट रखें।