वेफर प्रसंस्करण में ट्यूबों के टूटने की समस्या को रोकना
ईमानदारी से कहें तो, उच्च-लोड वाले उपकरणों में इन्फ्रारेड लैंपों का टूटना एक बहुत बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति में न केवल मशीन कुछ घंटों तक काम नहीं कर पाती, बल्कि सफाई का काम भी बहुत कठिन हो जाता है।
जब सिलिकॉन वेफरों पर क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाता है, तो काँच के टुकड़े एवं हैलोजन गैस वेफरों पर गिर जाते हैं। ऐसी स्थिति में वेफर नष्ट हो जाते हैं, एवं टीम को पूरे क्लीन रूम की सफाई करनी पड़ती है। यह ऐसी समस्या है जिसे कोई भी नहीं चाहता।
यही कारण है कि हमने अपने क्लीन रूमों में इन्फ्रारेड लैंपों को विशेष तरीके से डिज़ाइन किया है।
ट्यूबें आखिर क्यों टूट जाती हैं?
आमतौर पर, ऐसा तापीय झटकों या स्थानीय रूप से उत्पन्न गर्मी के कारण होता है। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं; ऐसा क्वार्ट्ज तापमान में बदलाव होने पर भी टूटता नहीं। इसके अलावा, सस्ते लैंपों में फिलामेंट टूट जाता है… हम ऐसी समस्याओं से बचने हेतु फिलामेंट को बहुत ही सटीक तरीके से स्थापित करते हैं।
गंदगी को रोकना
अतिरिक्त सुरक्षा हेतु, हम लैंपों को उच्च-शक्ति वाली क्वार्ट्ज स्लीव में लपेटते हैं, या विशेष रोधी-कोटिंग का उपयोग करते हैं। ऐसा करने से अगर आंतरिक लैंप टूट जाए, तो बाहरी स्लीव सब कुछ रोक लेगी… इससे वेफरों पर काँच के टुकड़े नहीं गिरेंगे।
हमने कनेक्टरों को भी मजबूत बनाया है… सस्ते कनेक्टरों से विद्युत धारा बहने लगती है, जिससे छोटे-छोटे धातु के कण वायु-प्रवाह में फैल जाते हैं… हमने ऐसी समस्याओं से बचने हेतु कनेक्टरों को मजबूत बनाया है।
समझौता
इन सुरक्षा उपायों के कारण इन्फ्रारेड विकिरण में थोड़ी कमी आ जाती है… ऐसी स्थिति में आपको अपने लक्ष्य तापमान तक पहुँचने हेतु थोड़ा अधिक वॉटेज की आवश्यकता होगी… ध्यान रखें कि आपका पावर सप्लाई अतिरिक्त लोड को संभाल सके… ताकि उत्पादन प्रक्रिया में कोई समस्या न हो।