फैब फ्लोर पर, 5 नैनोमीटर आकार के चिपों के निर्माण में कोई भी त्रुटि स्वीकार्य नहीं है। वेफर पर 0.3°C का तापमान-अंतर भी CD मानों में परिवर्तन पैदा कर सकता है, एवं इथेचिंग के बाद फोटोरेजिस्ट के अवशेष भी बच सकते हैं। पारंपरिक सुखाने की प्रक्रियाओं में तो किनारों पर अभी भी नमी रह जाती है। “स्पिन-ओनली” विधियों में तो घोल की बर्बादी होती है, एवं कणों की समस्या भी बनी रहती है।
हमने ऐसा ज़ोन्डेड इन्फ्रारेड पैनल विकसित किया है, जिससे वेफर को साफ करने के बाद ऐसी समस्याओं से छुटकारा मिल जाता है।
इस पैनल का मुख्य घटक छोटी-तरंगदैर्घ्य वाला इन्फ्रारेड है; प्रत्येक ज़ोन में तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखा जाता है। इससे पूरे वेफर पर समान तापमान बना रहता है। यह पैनल पतला है, क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी इस्तेमाल किया जा सकता है; इसकी सतह इतनी ठंडी होती है कि कणों का उत्पादन लगभग शून्य ही रहता है।
इससे फोटोरेजिस्ट को किसी भी तरह के दबाव में न डालते हुए ही वेफर को सुखाया जा सकता है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ भी वैसी ही रहती हैं; आवश्यकता पड़ने पर पैटर्न वाले वेफरों से अवशेष फिल्म को हटाया जा सकता है, बिना फिर से वेफर को एक्सपोज़ करने की आवश्यकता के।
व्यावहारिक रूप से, इससे उत्पादन समय एवं उत्पादकता में वृद्धि होती है। सुखाने में लगने वाला समय कम हो जाता है, क्योंकि ऊर्जा सीधे फिल्म पर ही पड़ती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि केवल सक्रिय ज़ोन ही कार्य करते हैं। 24/7 कार्य करने वाली इस प्रणाली में डिज़ाइन ऐसा है कि इसमें कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं आती।
इससे लिथोग्राफी एवं इथेचिंग प्रक्रियाओं में CD मानों पर बेहतर नियंत्रण प्राप्त होता है।
इसकी स्थापना आसान है; लेकिन चैंबर का डिज़ाइन महत्वपूर्ण है। पैनल का आकार चक के आकार के अनुरूप होना चाहिए, एवं रोबोट के एंड-इफेक्टरों के लिए भी पर्याप्त जगह होनी चाहिए। यह पैनल मानक इंटरफेसों के माध्यम से मौजूदा नियंत्रण प्रणालियों के साथ भी जुड़ सकता है। अपनी प्रक्रिया के अनुसार ज़ोनों को समायोजित करना भी आसान है। बस वोल्टेज एवं कनेक्टर का प्रकार पहले ही निर्धारित कर लेना चाहिए, ताकि पुनः काम करने की आवश्यकता ही न पड़े।
ज़ोन्डेड इन्फ्रारेड सुखाने की प्रक्रिया हर लाइन के लिए उपयुक्त नहीं है; यह तब ही उपयोगी है, जब तापीय एकरूपता ही मुख्य समस्या हो। यदि आपकी लाइन उन्नत नॉड्स पर उच्च उत्पादकता हासिल करना चाहती है, तो यह पैनल आपको आवश्यक नियंत्रण प्रदान करेगा।