Membuat Proses Pengeringan Wafer MEMS Berjalan dengan Baik (Tanpa Masalah Kontaminasi)
Saat mengeringkan sensor MEMS, panas hanyalah salah satu faktor penting. Yang lebih penting lagi adalah cara menghindari kontaminasi akibat partikel-partikel kecil.
Jika Anda bekerja di ruang bersih kelas 100, Anda pasti tahu betapa sulitnya situasinya: sedikit saja gas yang keluar atau serpihan material dari elemen pemanas, maka seluruh wafer yang ada akan rusak. Ini merupakan cara kerja yang sangat menegangkan. Itulah sebabnya kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi.
Mengapa Kuarsa Sangat Penting
Kaca murahan atau kuarsa berkualitas rendah tidak mampu bertahan menghadapi tekanan panas yang tinggi. Setelah beberapa siklus pemanasan, bahan-bahan tersebut mulai rusak dan mengeluarkan partikel-partikel mikroskopis. Tentu saja ini bukan hal yang baik.
Kami menggunakan silika cair berkualitas tinggi, karena bahan ini tetap padat meski berada pada suhu ekstrem, dan tidak mengeluarkan gas apa pun. Yang bagusnya lagi, radiasi IR langsung menyerang kelembapan di permukaan wafer, sehingga air tersebut langsung menguap tanpa membuat seluruh ruang menjadi seperti oven.
Rincian Desainnya
Kami merancang lampu-lampu ini agar cukup kompak sehingga bisa dimasukkan ke dalam peralatan pengeringan. Selubung kuarsanya disegel rapat agar filamen tidak teroksidasi—hal yang biasanya menyebabkan kontaminasi. Dengan mengendalikan siklus halogen di dalam tabung, kita dapat menjaga filamen tetap utuh dan mencegah munculnya kerusakan.
Namun, Anda perlu memilih densitas daya yang tepat sesuai ukuran wafer yang digunakan. Memang, meningkatkan daya akan mempercepat proses pengeringan, tapi hal ini juga memberikan tekanan lebih besar pada sistem pendinginan. Jika dilakukan secara berlebihan, wafer bisa rusak akibat pemuaian termal. Yang penting adalah menemukan keseimbangan antara panjang tabung dan daya yang digunakan, agar panasnya merata di seluruh permukaan sensor.
Beberapa Tips untuk Pemasangan
Lampu-lampu ini sebenarnya dapat digunakan sebagai pengganti lampu pada stasiun pengeringan MEMS yang ada. Kami menggunakan koneksi standar, sehingga Anda tidak perlu repot dengan kabel-kabelnya.
Hati-hati: kuarsa berkualitas tinggi sangat rapuh. Bahan ini menyukai panas, tetapi tidak tahan terhadap benturan mekanis. Benturan saat pemasangan dapat menyebabkan retakan mikroskopis yang mungkin tidak terlihat.
Selain itu, gunakan sarung tangan yang bebas debu. Minyak dari kulit tangan dapat menyebabkan titik panas di permukaan kaca, yang akan mempercepat kerusakan tabung.