와이어 프레스 도구에 낭비되는 열을 막아보세요.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 정확성이 매우 중요합니다. 하지만 일반적인 IR 장비를 사용해본 사람이라면 그 문제점을 잘 알 것입니다. 바로 낭비되는 열입니다.
그 성가신 적외선 에너지는 웨이퍼에 전혀 닿지 않고 진공 챔버의 내벽에 부딪힙니다. 결국 기계의 외부가 너무 뜨거워져서 사람이 다칠 수도 있으며, 에너지도 낭비됩니다.
이 문제를 해결하기 위해서는 열이 어디로 가는지를 신중하게 고려해야 합니다.
정확한 방향으로 열을 전달하기
대부분의 IR 램프는 360도로 열을 방출합니다. 웨이어 프레스 도구에서는 이런 방식은 혼란만 초래할 뿐입니다.
대신, 우리는 짧은 파장의 IR 송수신기와 반사판을 함께 사용하여 열을 정확한 방향으로 전달합니다. 마치 일반 전구 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 에너지를 웨이퍼 표면에 직접 집중시켜 반사되지 않도록 합니다.
그 결과, 열이 집중된 영역이 생깁니다. 광자들이 기계의 내벽에 닿지 않으므로 기계의 벽면은 여전히 차가운 상태를 유지합니다.
실제 사용 시의 고려사항
이 방식을 사용하려면 고출력 밀도를 가진 석영 램프가 필요합니다. 이 램프들은 강력한 열을 견딜 수 있습니다. 하지만 전원 공급 장치가 이러한 고출력 램프가 요구하는 특정 전압을 충분히 공급할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 방향성 반사판은 일반 램프보다 더 많은 공간을 차지합니다. 오래된 기계에 그것들을 설치할 때는 반드시 공간을 철저히 확인해야 합니다. 반사판의 위치가 조금이라도 틀어지면 웨이퍼에 과열된 부분이 생겨서 제조 과정이 망가질 수 있습니다.
기계의 안정적인 작동을 위해
방향성 가열의 가장 좋은 점은 기계의 외부에 있는 크고 시끄러운 냉각 팬을 사용할 필요가 없다는 것입니다. 이로 인해 기계를 조작하는 사람들이 더 안전해집니다.
이러한 램프들을 연결할 때는 접촉 부위에 산화가 일어나지 않았는지 반드시 확인해야 합니다. 이 램프들은 많은 전류를 소비하므로, 접촉 부위에 약간의 저항이라도 있으면 커넥터가 손상될 수 있습니다.
또한, 반사판을 깨끗하게 유지해야 합니다. 반사판에 조금이라도 먼지가 묻으면 초점이 맞지 않아 열이 다시 기계의 내벽으로 들어가게 됩니다.