MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 (오염 문제 없이) MEMS 센서를 건조할 때, 열만으로는 충분하지 않습니다. 진짜 문제는 미세한 입자들입니다. 만약 클래스 100급 청정실에서 작업한다면, 조금이라도 가스가 빠져나오거나 가열 요소에서 미세한 입자들이 나오면...

와이어 프레스 도구에 낭비되는 열을 막아보세요. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 정확성이 매우 중요합니다. 하지만 일반적인 IR 장비를 사용해본 사람이라면 그 문제점을 잘 알 것입니다. 바로 낭비되는 열입니다. 그 성가신 적외선 에너지는 웨이퍼에 전혀 닿지 않고 진공 챔...

왜 무연 반도체 제조에 적외선을 사용하는가? 반도체 산업도 점차 환경 친화적인 방식으로 전환되고 있습니다. 우리는 유해한 화학 물질을 사용하는 건조 공정이나 납을 사용하는 방식을 버리고 있습니다. 바로 이때 적외선이 유용하게 사용됩니다. 적외선은 ‘친환경적인’ 제조...

웨이퍼 경화 공정에서 발생하는 문제들을 막는 방법 고부하가 요구되는 웨이퍼 경화 공정에서는, 램프가 고장나면 단순히 몇 분의 생산 시간만 손실되는 것이 아닙니다. 만약 석영관이 파열된다면, 유리 조각들과 할로겐 침전물들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 이는 정말 끔찍...

서론 와이어를 처리할 때, 온도는 단순히 화면에 표시되는 숫자에 불과하지 않습니다. 그것은 완벽한 제품을 얻을 수 있는 기회와 전체 제품이 폐기물이 되는 사이의 유일한 경계선입니다. 바로 이러한 이유로 우리는 모든 에너지가 정확한 위치와 시점에 와이어에 전달될 수 있...

서론 우리는 반도체 공장에서 발생할 수 있는 가혹한 환경을 견딜 수 있는 웨이퍼 히터를 개발했습니다. 이 장비의 핵심은 고출력 할로겐 램프입니다. 이 램프는 빠르고 정확하며, 매우 강력한 성능을 자랑합니다. 하지만 우리가 가장 자랑스러워하는 점은 바로 전기 안전성입니...

300mm 라인에서 소프트 베이크 중 0.5°C의 드리프트는 부차적인 사항이 아닙니다. 이는 수율 손실입니다. 포토레지스트 프로파일은 좁아지고, CD 예산은 축소되며, 퍼니스 바닥에서는 추측의 여지가 없습니다. 우리는 바로 그 현실을 위해 열 시스템을 구축했습니다:...

fab floor에서 익히 알고 있는 사항 soft bake 또는 hard bake 과정 중 반도 정도의 온도 편차가 치명적인 치수 변화를 유발하여 수율 저하로 이어질 수 있다. 2026 wafer heater는 실제 운용하는 공정 범위에 맞춰 설계되었으며, 엄격한...