와퍼를 깨끗하게 유지하기 위해서는 램프의 설계가 매우 중요합니다. 대량 생산 라인에서는 단 하나의 램프가 고장 나도 전체 작업이 엉망이 될 수 있습니다. 단순히 가동이 중단되는 것뿐만 아니라, 석영관이 파손되면 유리 조각과 금속 파편들이 기판 위로 흩어집니다. 이는...

서론 이제 특정 유형의 적외선 가열램프에 대해 알아보겠습니다. 이 램프는 주조 공장과 같은 혹독한 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 웨이퍼 건조기 내의 기존 가열 시스템을 대체할 수 있도록 만들어졌죠. 그 목적은 바로 강력하고 일관된 열을 제공하여 습기를...