와퍼를 깨끗하게 유지하기 위해서는 램프의 설계가 매우 중요합니다. 대량 생산 라인에서는 단 하나의 램프가 고장 나도 전체 작업이 엉망이 될 수 있습니다. 단순히 가동이 중단되는 것뿐만 아니라, 석영관이 파손되면 유리 조각과 금속 파편들이 기판 위로 흩어집니다. 이는 처리하기 힘든 문제입니다.
바로 이러한 이유로 우리는 디지털 적외선 제어기와 램프 구조를 특별하게 설계했습니다. 2차 오염이 일어나기 전에 그것을 막고 싶었던 것입니다.
고장이 발생하기 전에 미리 방지하기 대부분의 램프는 특정 부위가 너무 뜨거워지거나 갑작스러운 전압 상승으로 인해 고장 납니다. 이를 해결하기 위해 우리는 온도를 매우 정밀하게 조절하는 순환형 디지털 시스템을 사용합니다. 그렇게 하면 열충격이나 석영관의 손상을 방지할 수 있습니다.
또한, 제어기가 이상한 전류 패턴을 감지하면 즉시 전원을 차단합니다. 이는 간단한 방법이지만, 필라멘트가 관 벽을 뚫고 녹는 것을 막아줍니다.
안전장치 우리는 단순히 유리가 견딜 수 있을 거라고만 생각하지 않습니다. 추가적인 보호 장치도 마련해 두었습니다. 이는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 만약 석영관이 고장 나더라도, 파편들은 와퍼에서 멀리 떨어진 곳에 갇히게 됩니다.
또한, 고순도 석영을 사용하여 열이 정확히 와퍼에만 전달되도록 합니다. 단, 이 코팅 layer는 깨지기 쉬우므로, 설치할 때는 반드시 제공된 도구를 사용해야 합니다. 그래야만 우발적인 손상을 방지할 수 있습니다.
올바른 설정 와이어 연결도 매우 중요합니다. 단자 부분에서 아크가 발생하면 램프가 고장 날 수 있으므로, 우리는 내구성이 뛰어난 커넥터를 사용합니다.
또한, 냉각 시스템도 중요합니다. 충분한 공기 흐름이 있어야 석영관에서 발생하는 열을 효과적으로 처리할 수 있습니다. 공기 흐름이 너무 약하면 석영관이 열을 흡수하게 되어 와퍼가 일정한 온도를 유지하지 못합니다. 따라서 일정한 공기 흐름을 유지해야 합니다.