열을 낭비하지 마세요: 골드 반사판의 진짜 효과 웨이퍼를 가공할 때, 사실 우리가 원하는 것은 “더 많은 열”이 아닙니다. 우리가 원하는 것은 램프에서 나오는 모든 에너지가 웨이퍼에 정확하게 전달되는 것입니다. 하지만 대부분의 경우 이는 쉽지 않습니다. 그래서 우리는...

300mm 라인에서 소프트 베이크 중 0.5°C의 드리프트는 부차적인 사항이 아닙니다. 이는 수율 손실입니다. 포토레지스트 프로파일은 좁아지고, CD 예산은 축소되며, 퍼니스 바닥에서는 추측의 여지가 없습니다. 우리는 바로 그 현실을 위해 열 시스템을 구축했습니다:...