IR 방출기를 위한 세라믹 엔드 캡

Fab 라인에서 상황은 익숙할 것이다. 포토레지스트 베이크 중 0.2°C의 온도 편차는 치명적인 치수 오차를 발생시켜 많은 제품을 폐기 처리로 만들 수 있다. 소프트 베이크와 하드 베이크 모두에서 엄격한 열 예산 내에서 리소그래피를 실행하며, 해당 에미터 스택은 매...