CVD(화학 기상 증착) 히터

제조 공장에서 CVD 챔버의 열 프로파일은 단순한 파라미터가 아닙니다. 그것 자체가 바로 공정의 핵심입니다. 웨이퍼 표면의 온도가 1°C만 변해도 필름의 응력이 변하고, 증착 속도도 달라지며, 치수 제어도 정상 범위를 벗어날 수 있습니다. 히터의 온도가 변하면 생산이...