Cara yang betul untuk mengeringkan wafer MEMS (tanpa masalah pencemaran)
Ketika mengeringkan sensor MEMS, haba hanyalah separuh daripada faktor penting. Cabaran sebenar adalah untuk mengelakkan kehadiran zarah-zarah kecil yang boleh merosakkan sensor tersebut.
Jika anda bekerja di bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu betapa pentingnya kebersihan. Sebarang zarah kecil yang terlepas dari unsur pemanas pun boleh merosakkan kesemua wafer yang ada. Ini merupakan situasi yang sangat menekan. Itulah sebabnya kami menggunakan lampu inframerah yang diperbuat daripada kuarsa tulen.
Mengapa kuarsa sangat penting?
Kaca biasa atau kuarsa berkualiti rendah tidak mampu bertahan dalam keadaan suhu yang tinggi. Selepas beberapa kitaran pemanasan, bahan tersebut akan mula rosak dan menghasilkan zarah-zarah mikroskopik. Ini tentu saja bukan perkara yang baik.
Kami menggunakan silika tulen kerana ia tetap kukuh pada suhu yang ekstrem dan tidak menghasilkan gas berbahaya. Yang menariknya, sinar inframerah dapat menghilangkan kelembapan pada permukaan wafer dengan cepat, tanpa perlu memanaskan seluruh bilik tersebut.
Butiran reka bentuk
Kami menjadikan lampu ini kompak agar ia sesuai digunakan dalam sistem pengeringan wafer. Kulit luar lampu ini dipatenkan dengan ketat untuk mengelakkan filamen daripada teroksidasi – yang biasanya menjadi penyebab pencemaran. Dengan mengawal kitaran halogen di dalam tiub, kita dapat memastikan filamen tetap utuh dan bebas daripada kerosakan.
Namun, anda perlu memilih kekuatan tenaga yang sesuai untuk saiz wafer tertentu. Meningkatkan kuasa lampu memang dapat mempercepatkan proses pengeringan, tetapi ia juga akan memberi tekanan yang besar pada sistem penyejukan. Jika terlalu banyak tekanan, wafer tersebut akan rosak akibat haba yang berlebihan. Semua ini bergantung pada keseimbangan antara panjang tiub dan kuasa tenaga yang digunakan.
Beberapa tip untuk pemasangan
Lampu ini boleh digunakan sebagai pengganti untuk stesen pengeringan MEMS yang sedia ada. Kami menggunakan konektor standard, jadi anda tidak perlu risau tentang masalah kabel.
Perlu diingat bahawa kuarsa tulen sangat rapuh. Ia tahan terhadap haba, tetapi tidak tahan terhadap hentakan mekanikal. Hentakan semasa pemasangan boleh menyebabkan retakan kecil yang mungkin tidak dapat dilihat.
Selain itu, gunakan sarung tangan yang bebas bulu. Minyak dari kulit boleh menyebabkan titik panas pada permukaan kaca, dan ini akan menyebabkan kerosakan pada tiub tersebut.