Di fasiliti pengeluaran cip, penggunaan nod 5 nm tidak memberikan ruang untuk kesilapan yang boleh berlaku. Perbezaan suhu sebanyak 0.3°C pada permukaan wafer boleh menyebabkan perubahan pada parameter CD, serta meninggalkan sisa bahan kimia selepas proses etching. Bagaimana pula dengan kaedah pengeringan konvensional? Anda tahu bagaimana keadaannya – bahagian tepi wafer masih basah. Kaedah pengeringan menggunakan putaran sahaja akan membazirkan pelarut, dan juga menyebabkan masalah berkaitan partikel halus.
Kami telah mencipta panel inframerah yang membolehkan pengawalan suhu yang lebih tepat, terus di tempat wafer keluar daripada bilik bersih. Inti utama panel ini ialah teknologi inframerah gelombang pendek dengan kawalan zon yang tepat. Setiap zon dapat mengekalkan suhu yang stabil pada tahap ±0.1°C, sehingga seluruh permukaan wafer mendapat suhu yang sama. Panel ini mempunyai bentuk yang ringan, sesuai untuk bilik bersih kelas 1–100. Permukaannya juga cukup sejuk untuk mengurangkan pembentukan partikel halus.
Dengan menggunakan panel ini, proses pengeringan dapat dilakukan secara konsisten, tanpa perlu menggunakan tekanan yang tinggi pada bahan fotoresist. Proses pembakaran lembut dan keras tetap dapat dilaksanakan dengan baik, dan sisa bahan pada permukaan wafer dapat dibersihkan tanpa perlu proses pendedahan semula.
Dalam praktiknya, masa yang diperlukan untuk pengeringan berkurangan, kerana tenaga hanya digunakan pada kawasan yang diperlukan sahaja. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana hanya zon-zon aktif sahaja yang beroperasi. Dengan reka bentuk yang membolehkan operasi 24/7 dan modul yang boleh diganti di lapangan, masa henti yang tidak dirancang dapat dikurangkan.
Hasilnya ialah pemecahan butiran yang konsisten, penggunaan pelarut yang lebih sedikit, serta kawalan yang lebih tepat terhadap parameter CD melalui proses litografi dan etching.
Pemasangan panel ini sangat mudah, tetapi geometri bilik pengeluaran sangat penting. Pastikan ukuran panel sesuai dengan chuck, dan pastikan jarak yang mencukupi antara panel dengan alat robot. Panel ini boleh disambungkan ke sistem kawalan sedia ada melalui antaramuka standard. Penyesuaian parameter zon juga boleh dilakukan dengan cepat di tapak. Cukup tentukan voltan dan jenis soket terlebih dahulu, agar tidak perlu melakukan kerja-kerja pembetulan lagi.
Panel pengeringan inframerah zon ini bukanlah penyelesaian yang sesuai untuk semua lini pengeluaran. Ia paling berguna di tempat di mana keseragaman suhu merupakan faktor penting. Jika lini pengeluaran anda bertujuan untuk mencapai kadar pengeluaran yang tinggi pada nod yang canggih, panel ini akan membantu anda mengawal suhu dengan lebih baik.