Het stoppen van het nachtmerriegevoel door gebroken infraroodlampen tijdens het bewerken van siliciumwafers
Laten we eerlijk zijn: een kapotte infraroodlamp in een apparaat met hoge belasting is een echte ramp. Het gaat niet alleen om het feit dat de machine een paar uur uit de lucht is; er moet ook nog veel schoongemaakt worden.
Als een kwartsbuis op een siliciumwafer barst, komen er scherven glas en halogeengas terecht op het substraat. Hierdoor is de productie verpest en moet het team de hele zuiverruimte schoonmaken. Dat is een behoorlijke last voor iedereen.
Daarom hebben we onze infraroodlampen op een speciale manier ontworpen.
Waarom buizen eigenlijk breken
Meestal komt het door thermische schokken of lokale oververhittingen. We gebruiken hoogzuiver gefuseerd kwarts, zodat de lamp niet kapotgaat bij temperatuurschommelingen. Het kan snel van stroom wisselen zonder te breken.
Er is ook nog het probleem van ‘branden’ van de lamp. Dat gebeurt wanneer het filament naar beneden hangt of de wanden van de buis raakt. We lossen dit op door het filament precies in het midden te plaatsen. Het vereist nauwkeurige controle, maar zo blijft de warmte waar hij hoort: in het midden.
Het voorkomen van vuil
Om nog een extra beschermingslaag te hebben, wikkelen we de lampen in een sterke kwartsmantel of gebruiken we een speciale coating die het breken van de lamp voorkomt.
Denk hierbij aan een soort veiligheidsnet. Als de binnenste lamp kapotgaat, vangt de buitenste laag alles op. Er komt dan geen glas meer op de wafers terecht.
We hebben ook de connectoren versterkt. Goedkope connectoren kunnen problemen veroorzaken, waardoor kleine metalen deeltjes in de lucht terechtkomen. We hebben deze contactpunten goed beschermd, zodat de zuiverruimte schoon blijft.
De nadelen
Het nadeel is dat deze extra beschermingslagen ervoor zorgen dat een klein deel van het infrarode licht wordt tegengehouden. Je zult dus een klein verschil in warmtevoer merken vergeleken met een gewone lamp.
Het is geen groot probleem, maar je moet misschien de vermogenssterkte verhogen of de wafers wat langer laten staan om de gewenste temperatuur te bereiken. Zorg er in ieder geval voor dat je stroomvoorziening de extra belasting aankan, zodat er geen problemen optreden tijdens het productieproces.