Op de productielijn biedt een 5 nm-proces geen ruimte voor fouten. Een temperatuurverschil van 0,3°C op het geweer kan leiden tot afwijkingen in de dikte van het materiaal en tot restanten van fotoresistent na het eten. En conventionele droogmethoden? Je weet hoe dat gaat: de randen blijven nog steeds vochtig. Methoden die alleen gebruikmaken van centrifugatie verspillen oplosmiddelen en zorgen voor extra problemen door de aanwezigheid van deeltjes.
Wij hebben een gecentreerd infraroodsysteem ontwikkeld om deze onzekerheden te verminderen, precies op het moment dat het geweer uit de reinigingsinstallatie komt.
Het hart van dit systeem is kortegolfinfraroodlicht met gecentreerde controle. Elke zone heeft een stabiliteit van ±0,1°C, zodat het hele geweer dezelfde thermische omstandigheden krijgt. Het systeem is dun genoeg om te passen in cleanrooms van klasse 1–100. Bovendien blijft het oppervlak voldoende koel, zodat er nauwelijks deeltjes worden gevormd.
Het voordeel is dat het mogelijk is om het materiaal op een reproduceerbare manier te drogen, zonder dat de fotoresistent wordt beschadigd. De tijd die nodig is om het materiaal te drogen neemt af, omdat de energie rechtstreeks op het materiaal wordt gericht, en niet op de draagstructuur. De energieverbruik neemt ook af, omdat alleen de actieve zones worden gebruikt. Ongeplande stilstanden nemen af dankzij het ontwerp dat 24/7 kan werken en waarbij de onderdelen gemakkelijk vervangen kunnen worden.
Het resultaat is een consistente dichtheid van het materiaal, minder oplosmiddelverbruik en betere controle over de dikte van het materiaal tijdens het lithografische proces en het eten.
De installatie is eenvoudig, maar de geometrie van de ruimte is belangrijk. Zorg ervoor dat de afmetingen van het systeem overeenkomen met die van de chuck en dat er voldoende ruimte is voor de robotarmen. Het systeem kan worden geïntegreerd in bestaande besturingssystemen via standaardinterfacessen. Het instellen van de zones kan snel worden gedaan. Geef simpelweg de spanning en het type connector op vooraf, zodat je geen herwerkzaamheden hoeft uit te voeren.
Gecentreerd infraroodsysteem is geen oplossing die voor alle productielijnen werkt. Het is vooral nuttig wanneer thermische uniformiteit een groot probleem is. Als je productielijn gericht is op het maximaliseren van de opbrengst bij geavanceerde processen, dan geeft dit systeem je de benodigde controle.