Stop met het opwarmen van de lucht: een betere manier om je semi-trolleys te verwarmen
Als we echt die doelstellingen voor koolstofneutraalheid in halfgeleiderfabrieken willen bereiken, moeten we ophouden met energieverspilling. De grootste schuldige? Traditionele convectieverwarmers. Die proberen de hele ruimte van een schone ruimte op te warmen, alleen om enkele componenten stabiel te houden. Het is net alsof je je hele huis opwarmt alleen om een kop koffie warm te houden.
Daarom hebben we overgestapt op kortegolflange infrarood (IR)-lampen die rechtstreeks in de trolleys zijn geïntegreerd. In plaats van de lucht op te warmen, richten we de warmte precies op de plek waar de wafers zich bevinden.
Waarom IR werkt
Lucht is een slecht geleider van warmte. Door IR-lampen te gebruiken, hoeven we geen tussenkomst meer te gebruiken. We maken gebruik van kwarts-halogeen-elementen die de gewenste oppervlakken bijna onmiddellijk opwarmen. Het gaat snel – veel sneller dan met gewone verwarmer. Hierdoor worden de opstarttijden korter en hoef je geen enorme hoeveelheden energie te gebruiken voor elke batch.
Het behouden van de zuiverheid
Schone ruimtes vereisen veel zorg. Je kunt niet zomaar een willekeurige verwarmer in zo’n ruimte plaatsen, anders ontstaan er deeltjes en uitstoot. We gebruiken kwartskokers van hoge zuiverheid om alles schoon te houden. We bekleden ook de elementen met een speciaal laagje, zodat het warmtestralingspatroon kan worden aangepast. Hierdoor wordt de warmte naar binnen geleid, zonder dat het frame van de trolley beschadigt raakt. Bovendien zijn deze lampen zo geprogrammeerd dat ze pas gaan werken wanneer er beweging is in de trolley. Je gebruikt dus geen energie 24/7, maar alleen wanneer er daadwerkelijk iets moet worden opgewarmd.
De uitdagingen
Het is echter niet allemaal eenvoudig. Hoge-intensiteitse IR-lampen genereren veel warmte op één plek. Als je te veel energie in een kleine ruimte stopt, kan dit leiden tot beschadiging van de trolley of tot alarmsignalen in de schone ruimte. Je moet dus het juiste evenwicht vinden tussen de hoeveelheid energie, de luchtcirculatie en de capaciteit van de trolley.
Maar zodra je dat evenwicht hebt gevonden, kun je van deze technologie gebruikmaken als een precisiehulpmiddel. Het is gewoon logisch.