Op de productielijn is het bakken van de fotoresist geen gewone temperatuurstap. Het heeft een directe invloed op de kwaliteit van het eindproduct. Als de IR-verwarmer tijdens het zachte of harde bakken afwijkt van zijn ingestelde waarde, veranderen de cruciale dimensies van de wijsjes. Hierdoor moeten de wijsjes worden weggegooid en stopt de productielijn met werken. We hebben een spanningregelaar ontworpen die deze variabiliteit wegneemt. Deze regelaar houdt de ingestelde spanning constant, zelfs wanneer de netspanning fluctueert. Hierdoor blijft de thermische controle binnen de vereiste grenzen.
Wat technisch gezien belangrijk is: Deze regelaar is ontworpen voor gebruik in zuiveringsruimtes met infraroodlampen. Hij levert stabiele, luidloze stroom met nauwkeurige controle. Het resultaat is een constante temperatuur op het oppervlak van de wijsjes van ±0,1°C. Dit zorgt voor betere controle over de afmetingen van de wijsjes en voor een consistente kwaliteit van de fotoresist. De regelaar produceert geen extra deeltjes, en de materialen en afsluitingen zijn bestand tegen de omstandigheden in zuiveringsruimtes van klasse 1–100. Met 7×24 uur per dag in bedrijf, geeft dit ontwerp een kans op nul onverwachte storingen. De levensduur van de regelaar is tienduizenden uren.
Waarom het werkt in de lithografie: Wanneer er warmte nodig is, moet deze consistent worden gegenereerd, cyclus na cyclus. Deze regelaar houdt de IR-uitgang constant, van de eerste tot de laatste wijsje. Hierdoor wordt afval en herwerking verminderd. Door de verbeterde temperatuurregulering kunnen de procesparameters nauwkeuriger worden ingesteld. De energieverbruik neemt af, omdat het systeem geen overtollige energie verbruikt. De onderhoudsintervallen worden langer en de benodigde reserveonderdelen minder, omdat de regelaar gebruikmaakt van onderdelen met een lange levensduur en voorspelbaar slijtagepatroon.
Enkele praktische tips: Het is belangrijk om de regelaar te combineren met de juiste type IR-emitter en belastingcurve, zodat de gewenste uniformiteit en stabiliteit worden behaald. Tijdens de installatie moet er goed worden gelet op de thermische omstandigheden en moet het elektriciteitsnetwerk voldoen aan de vereisten van de zuiveringsruimte, om hittepunten en contaminatie te voorkomen. Plan een kort inrichtingsproces in, zodat de PID-parameter’s kunnen worden aangepast voor uw specifieke productielijnen.