HEATER VOOR DROGEN VAN MEMS SENSORWAFERS
Hoe MEMS-wafers op de juiste manier te drogen (zonder vervuiling) Bij het drogen van MEMS-sensoren is hitte slechts de helft van het verhaal. De...
Energieaudit voor drooging in fabriek
Waarom halfgeleiderfabrieken steeds vaker kiezen voor IR-technologie in plaats van conventionele ovens
Als je de afgelopen tijd in een...
Infraroodpaneel voor gedifferentieerde droging van wafers
Op de productielijn biedt een 5 nm-proces geen ruimte voor fouten. Een temperatuurverschil van 0,3°C op het geweer kan leiden tot afwijkingen in de...