
Как избежать катастрофы, связанной с разрушением инфракрасных ламп в процессе обработки кремниевых пластин
Честно говоря, разрушение инфракрасной лампы в оборудовании с высокой нагрузкой — это настоящая катастрофа. Речь идет не только о том, что оборудование будет выходить из строя на несколько часов. Еще нужно учитывать необходимость уборки последствий аварии. Когда кварцевая трубка ломается рядом с кремниевой пластиной, осколки стекла и галогенный газ попадают прямо на поверхность пластины. В результате весь партия продукции приходит в негодность, а команда обслуживания вынуждена убирать всю помещение. Это серьезная проблема, от которой никто не хочет страдать. Именно поэтому мы спроектировали наши лампы таким образом.
Почему трубки ломаются
Обычно причиной является тепловой шок или местные точки повышенной температуры. Мы используем высококачественный фусованный кварц, который не разрушается при сильных перепадах температуры. Он выдерживает резкие изменения мощности без повреждений. Также существует проблема «износа» лампы, которая возникает у дешевых моделей. Это происходит, когда нить накаливания сгибается или соприкасается со стенками лампы. Мы решаем эту проблему, центрируя нить накаливания с точностью до долей миллиметра. Это сложная задача, но благодаря ей тепло распределяется равномерно.
Как предотвратить беспорядок
Чтобы добавить еще один слой защиты, мы оборачиваем лампы в прочную кварцевую оболочку или используем специальное покрытие, устойчивое к разрушению. Это можно считать своего рода защитным кожухом. Если внутренняя часть лампы выходит из строя, внешний слой сохраняет порядок. Таким образом, осколки стекла не попадут на кремниевые пластины. Мы также усилили контакты лампы. Дешевые контакты могут вызывать искры, которые приводят к появлению мелких металлических частиц в потоке воздуха. Мы обеспечили надежные контакты, чтобы окружающая среда оставалась чистой.
Компромиссы
Есть один недостаток: использование этих защитных слоев приводит к небольшому снижению передачи инфракрасного излучения. Вы заметите небольшое снижение температуры по сравнению с лампами без таких защитных слоев. Но это не критично. Возможно, потребуется увеличить мощность лампы или увеличить время ее работы для достижения желаемой температуры. Убедитесь, что ваш источник питания справляется с дополнительной нагрузкой, чтобы избежать сбоев во время производства.