Üretim alanında, yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri belirleyici rol oynar. Termal kontrol, ayarlanabilecek bir parametre değil; aslında bir sınır koşuludur. Pişirme sırasında wafer üzerindeki sıcaklık değişimi 2°C bile olsa, bu kritik boyutları değiştirebilir. Ayrıca, odadaki tek bir parçacık bile 300 mm’lik bir waferin bozulmasına neden olabilir. Bizim yüksek sıcaklık fırınlarımız, bu gerçeklerle başa çıkabilmek için tasarlandı; onlarla mücadele etmek için değil.
Teknik açıdan önemli olanlar
İşlem bölgesinde sıcaklık tutarlılığını ±0,1°C olarak belirliyoruz ve her döngüde bu toleransın korunmasını sağlıyoruz. Sıcak bölümde kuvars ve kısa dalga kızılötesi elemanlar kullanılarak temiz ve hızlı ısı transferi sağlanır; böylece sıcaklık profili tam olarak belirlenen standartlara uygun olur. Oda, Class 1–100 temizlik standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı olan malzemeler ve parçacık üretimini sıfıra yakın tutan bir akış sistemi bulunur. Fotoresist pişirme işlemlerinde bu durum, tutarlı bir çözünücü uzaklaştırma ve polimer akışı anlamına gelir; ne aşırı pişirme ne de yetersiz pişirme olur.
Neden günlük üretim süreçlerinde işe yarıyor?
Üretim sürelerini olumsuz etkilemeyen bir termal performansa ihtiyaç vardır. Bu fırın 7/24 çalışır; bakım programlarına göre işler, beklenmedik arızalarla karşılaşılmaz. Her işlem için gerekli parametreler kaydedilir; böylece her pişirme işlemi dokümantasyon altına alınır ve tekrarlanabilir hale gelir. Aynı termal platform, farklı wafer boyutları ve parti yapıları için de kullanılabilir; böylece tüm işlem süreci yeniden ayarlanmak zorunda kalmaz ve enerji tasarrufu sağlanır. Enerji, hızlı stabilizasyon ve düşük bekleme kayıpları sayesinde verimli şekilde yönetilir.
Baştan bilinmesi gerekenler
Kurulum için özel bir egzoz sistemi ve cihazın arayüz özelliklerine uygun temiz, kuru gaz tedariki gereklidir. Fırın, standart üretim otomasyon sistemleri ve SECS/GEM ile uyumludur; ancak mevcut malzeme taşıma sistemlerine bağlanması için özel ayarlamalar yapılması gerekir. Öncelikle fotoresist pişirme işlemleri için gerekli kalite standartlarına göre fırın test edilmelidir. Tutarlılık ve parçacık performansı sağlandığında, fırın sabit bir işlem parametresi gibi davranır; hareketli bir hedef değil.