Üretim sahasında soft bake bir ısınma işlemi değildir. O, litografi bütçesini belirler, nokta. Sıcaklık homojenliği bozukluğu CD varyasyonu olarak...

On the wafer katında, bake bir duraklama değil—bir proses kilididir. Fotoresist boyunca sıcaklık tutarsızlığı meydana gelirse, CD varyasyonu ve verim...