Isı sızıntısını önleme Yüksek güçteki ısı kaynaklarını kullanırken, ısı sadece istediğiniz yerde kalmaz; etrafa dağılır. Standart ısıtıcılar kullanıyorsanız, makinenin iç duvarları adeta bir sünger gibi davranır ve tüm enerjiyi emer. Böylece “sıcak duvarlar” oluşur. Bu durum hem enerji israfına yol açar, hem de makinenin yanında çalışan kişiler için ciddi bir sorundur. Kimse dışarıdan fırın gibi görünen bir ekipmanı sevmez.
Isının her yere yayılmasını engelleme Buradaki püf nokta, ısıyı bir bulut olarak değil, bir ışın olarak düşünmektir. Her yöne ısı yayan eski tip ısıtıcılar yerine, yönlendirilebilir kızılötesi lambalar kullanılır. Bu sayede enerji, hedefe doğru doğrudan yönlendirilir. Işın dar olduğu için, makinenin dış kısmı sıcak kalmaz. Böylece wafer tam istenen sıcaklıkta kalırken, makinenin dış yüzeyi soğuk kalır. Artık tüm odayı değil, sadece ilgili parçayı ısıtıyorsunuz.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Hassasiyet her şeydir Bu kızılötesi lambalar, küçük bir alanda çok büyük miktarda ısı üretir. Bu da ısınma sürecini son derece hızlı hale getirir. Ancak bunun bir bedeli vardır. Isı o kadar yoğundur ki, ayarlarda hata yapmak mümkün değildir. Eğer lamba birkaç milimetre bile yanlış konumlandırılırsa, substrat üzerinde sıcak noktalar oluşur. Küçük bir hata bile waferin zarar görmesine neden olabilir. Bu yüzden sabit duracak montaj braketlerine ihtiyaç vardır.
İşleri daha kolay hale getirme “Sıcak duvar” etkisini ortadan kaldırdığınızda, diğer her şey daha da basit hale gelir. Operatörün yanmasını önlemek için devasa su soğutucular veya büyük fanlara ihtiyaç kalmaz. Bu da tesisin kliması için avantajlıdır. Ayrıca, makinenin isiden dolayı şekil değiştirmesi gibi sorunlar da ortadan kalkar. Tüm bunları hızlı tepki veren termokupller ve PID kontrol cihazlarıyla birleştirerek kullanabilirsiniz. Bu sayede daha temiz ve güvenli bir çalışma ortamı elde edilir.