MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı
MEMS wafer’lerini doğru şekilde kurutmak (kirlenme sorunları olmadan)
MEMS sensörlerini kuruturken sıcaklık yalnızca yarı yolda bir faktördür. Asıl...
Fabrika kurutma süreci için enerji denetimi
Neden yarı iletken üretim tesisleri fırınları terk edip kızılötesi yöntemlerini kullanıyor?
Eğer son zamanlarda bir üretim tesisinde bulunduysanız,...
Bölümlü wafer kurutma kızılötesi paneli
Üretim alanında, 5 nm seviyesindeki işlemlerde hata payı çok düşüktür. Wafer’in üzerindeki 0,3°C’lik bir sıcaklık farkı bile CD değerlerini...