Як покласти край кошмару, пов’язаному з розривом інфрачервоних ламп під час обробки кремнієвих пластин
Будьмо чесні: розрив інфрачервоної лампи у пристрої високої потужності – це справжня катастрофа. Йдеться не лише про те, що пристрій буде недійсний кілька годин. Є ще й проблема з прибиранням наслідків аварії.
Коли кварцова трубка розривається під час обробки кремнієвої пластини, утворюються уламки скла та галогенний газ, які потрапляють прямо на поверхню пластини. Усі результати обробки йдуть насмарку, а команда змушена очищувати всю чисту кімнату. Це справжня проблема, яку ніхто не хоче мати.
Саме тому ми спроектували наші інфрачервоні лампи особливим чином.
Чому лампи насправді розриваються
Зазвичай це відбувається через тепловий шок чи локальні перегріви. Ми використовуємо кварц високої чистоти, який не руйнується під дією коливань температури. Він може витримувати різке змінювання напруги без руйнування.
Ще одна причина розриву – це “вигоряння” лампи. Це відбувається, коли філамент опускається чи торкається стінки лампи. Ми усуваємо цю проблему, розміщуючи філамент на точно визначеній відстані від стінки лампи. Це складне завдання, але таким чином тепло залишається саме там, де його має бути – у середині лампи.
Як уникнути бруду
Щоб додатково захистити лампи, ми обгортаємо їх у міцну кварцову оболонку чи використовуємо спеціальне покриття, яке запобігає розриву лампи. Це своєрідна „захисна мережа“: якщо внутрішня лампа зламається, зовнішній шар захистить все навколо. Таким чином уламки скла не потраплять на кремнієві пластини.
Ми також посилили контакти ламп. Дешеві контакти можуть створювати електричні іскри, які призводять до утворення дрібних металевих частинок, які потрапляють у потік повітря. Ми забезпечили надійність цих контактів, щоб середовище залишалося чистим.
Недоліки
Є один недолік – додавання цих захисних елементів призводить до незначного зниження ефективності передачі інфрачервоного випромінювання. Ви помітите незначне зниження температури порівняно з лампою без таких захисних елементів.
Це не велика проблема, але можливо, доведеться збільшити потужність лампи чи збільшити час її роботи для досягнення бажаної температури. Обов’язково переконайтеся, що ваш джерело живлення може витримати додаткове навантаження, щоб не виникло проблем під час процесу виробництва.