MEMS ویفرز کو صحیح طریقے سے خشک کرنا (بغیر کسی آلودگی کے)
جب MEMS سینسرز کو خشک کیا جاتا ہے، تو حرارت تو صرف نصف مسئلہ ہے؛ اصل مسئلہ تو چھوٹے چھوٹے ذرات ہیں۔
اگر آپ کلاس 100 کے صاف کمرے میں کام کر رہے ہیں، تو آپ کو پتہ ہی ہوگا کہ ایک چھوٹا سا ذرہ بھی پورے ویفر بیچ کو بیکار کر سکتا ہے۔ یہ بہت پریشان کن عمل ہے۔ اسی لیے ہم اعلیٰ خالصیت والے سنتھیٹک کوارٹز IR لیمپ استعمال کرتے ہیں۔
کوارٹز کی اہمیت
سستا شیشہ یا کم معیار کا کوارٹز اس قسم کے دباؤ کو برداشت نہیں کر سکتا۔ چند حرارتی چکروں کے بعد یہ ٹوٹنا شروع ہو جاتا ہے، اور اس سے مائکروسکوپیک ذرات پیدا ہوتے ہیں۔ یہ بالکل بھی اچھا نہیں ہے۔
ہم اعلیٰ خالصیت والے فیوژڈ سیلیکا کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ انتہائی اعلیٰ درجہ حرارت پر بھی ٹھوس رہتا ہے، اور اس سے کوئی گیس خارج نہیں ہوتی۔ دلچسپ بات یہ ہے کہ IR تابکاری براہ راست ویفر کی سطح پر موجود نمی کو ختم کر دیتی ہے، اور پورے کمرے کو بھی بھٹی میں تبدیل نہیں کرتی۔
ڈیزائن کی تفصیلات
ہم ان لیمپوں کو ایسے ڈیزائن کرتے ہیں کہ وہ آپ کے سسٹم میں آسانی سے فٹ ہو جائیں۔ کوارٹز کی ساخت کو اچھی طرح بند کیا جاتا ہے، تاکہ فلامنٹ آکسیڈائز نہ ہو – جو عموماً آلودگی کا سبب بنتا ہے۔ ٹیوب کے اندر موجود ہیلوجن چکروں کو کنٹرول کرکے، ہم فلامنٹ کو ہموار رکھتے ہیں، تاکہ کوئی نقصان نہ ہو۔
نصب کرنے کے لئے چند نکات
یہ لیمپ دراصل زیادہ تر MEMS خشک کرنے والے آلات کے لئے موزوں ہیں۔ ہم نے معیاری کنکٹرز استعمال کئے ہیں، تاکہ آپ کو وائرنگ سے کوئی پریشانی نہ ہو۔
صرف ایک بات یاد رکھیں: اعلیٰ خالصیت والا کوارٹز بہت کمزور ہوتا ہے۔ یہ حرارت کو تو برداشت کر سکتا ہے، لیکن ٹکر سے برداشت نہیں کر سکتا۔ نصب کرتے وقت کسی میکانی ٹکر سے مائکرو کریکس پیدا ہو سکتے ہیں، جنہیں آپ دیکھ بھی نہیں سکتے۔
براہ کرم، بغیر بالوں والے دستانے استعمال کریں۔ آپ کی جلد سے نکلنے والے تیل، شیشے پر گرم نقاط پیدا کرتے ہیں، اور یہ لیمپ کے جلد خراب ہونے کا سبب بنتا ہے۔