Ngăn chặn tình trạng đèn hồng ngoại bị vỡ trong quá trình xử lý wafer
Hãy thành thật mà nói: việc đèn hồng ngoại bị vỡ trong môi trường hoạt động có tải cao thực sự là một thảm họa. Không chỉ máy móc phải ngừng hoạt động vài giờ, mà còn phải tiến hành dọn dẹp rất công phu sau đó.
Khi ống thủy tinh chứa đèn hồng ngoại bị vỡ trên bề mặt wafer silic, những mảnh thủy tinh và khí halogen sẽ rơi xuống bề mặt wafer. Kết quả là toàn bộ sản phẩm sẽ bị hỏng, và đội ngũ kỹ thuật viên phải dành nhiều thời gian để dọn dẹp toàn bộ phòng sạch. Đó quả là một tình huống phiền toái mà ai cũng không muốn gặp phải.
Đó chính là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các đèn hồng ngoại dùng trong phòng sạch theo cách riêng của mình.
Tại sao đèn lại bị vỡ?
Thông thường, nguyên nhân là do sốc nhiệt hoặc những điểm nóng cục bộ. Chúng tôi sử dụng thủy tinh nung chảy có độ tinh khiết cao, vì vậy chúng không bị hư hại khi nhiệt độ thay đổi đột ngột. Nhờ đó, đèn có thể hoạt động ổn định ngay cả khi có sự thay đổi đột ngột về điện áp.
Ngoài ra, còn có trường hợp đèn bị hỏng do sợi dây tóc bị cong hoặc chạm vào thành ống. Chúng tôi khắc phục vấn đề này bằng cách đặt sợi dây tóc ở vị trí chính xác, trong khoảng một phần nghìn milimét. Điều này giúp giữ nhiệt ở đúng vị trí cần thiết.
Ngăn chặn sự lộn xộn
Để tăng tính an toàn, chúng tôi bọc các đèn trong lớp vỏ thủy tinh chắc chắn, hoặc sử dụng lớp phủ chống vỡ đặc biệt. Điều này giống như một “lưới an toàn”. Nếu đèn bên trong bị hỏng, lớp vỏ bên ngoài sẽ giữ lại mọi thứ, tránh để mảnh thủy tinh rơi xuống wafer.
Chúng tôi cũng gia cố các bộ kết nối. Các bộ kết nối rẻ tiền có thể gây ra hiện tượng điện arcing, từ đó tạo ra những hạt kim loại nhỏ rơi vào luồng khí. Chúng tôi đảm bảo rằng các điểm tiếp xúc được kiểm soát chặt chẽ, giúp môi trường trong phòng sạch luôn được giữ sạch sẽ.
Nhược điểm
Tuy nhiên, việc thêm các lớp bảo vệ này sẽ làm giảm một chút khả năng truyền ánh sáng hồng ngoại. Bạn sẽ nhận thấy nhiệt độ phát ra từ đèn giảm đi một chút so với khi không có lớp bảo vệ.
Điều này không quá nghiêm trọng, nhưng bạn có thể cần tăng công suất đèn lên, hoặc cho wafer ở trong môi trường đó lâu hơn một chút để đạt được nhiệt độ mong muốn. Hãy đảm bảo rằng nguồn điện có thể đáp ứng được tải trọng cao hơn, để tránh tình trạng ngắt kết nối giữa các bộ phận trong quá trình sản xuất.