Trong môi trường sản xuất chip, kích thước 5 nm không cho phép bất kỳ sai số nào xảy ra. Chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ 0,3°C trên bề mặt wafer thôi, điều đó cũng có thể làm thay đổi giá trị CD và để lại các tạp chất sau quá trình etch. Còn phương pháp sấy thông thường thì sao? Bạn biết rồi đấy – các cạnh của wafer vẫn còn ẩm. Các phương pháp sấy chỉ dùng lực quay thì sẽ lãng phí dung môi, và còn khiến bạn lo lắng về việc tạo ra các hạt bụi.
Chúng tôi đã chế tạo ra bảng điều khiển bằng tia hồng ngoại có khả năng kiểm soát nhiệt độ ở từng khu vực riêng biệt. Mỗi khu vực được kiểm soát với độ chính xác ±0,1°C, nhờ đó toàn bộ bề mặt wafer đều nhận được lượng nhiệt như nhau. Bảng điều khiển này có thiết kế mỏng, phù hợp với các phòng sạch loại 1–100. Bề mặt của bảng điều khiển đủ mát để giữ mức tạo bụi ở mức gần bằng không.
Kết quả là quá trình sấy diễn ra một cách đồng đều, mà không làm ảnh hưởng đến lớp phim photoresist. Các quy trình sấy mềm và sấy cứng vẫn được duy trì nguyên vẹn. Bạn có thể loại bỏ các lớp phim còn sót lại trên bề mặt wafer mà không cần phải tiến hành quá trình chiếu sáng lại.
Trong thực tế, điều này giúp rút ngắn thời gian xử lý và tăng tỷ lệ thành công. Thời gian sấy giảm đi vì năng lượng được tập trung vào lớp phim, chứ không phải vào bề mặt wafer. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi vì chỉ có các khu vực cần thiết mới được sử dụng. Thời gian dừng máy do sự cố cũng giảm đi nhờ thiết kế cho phép máy hoạt động 24/7 và các module có thể thay thế dễ dàng.
Kết quả cuối cùng là việc tạo ra các hạt nhỏ trên bề mặt wafer diễn ra một cách đồng đều, mức tiêu thụ dung môi giảm đi, và việc kiểm soát giá trị CD cũng trở nên chính xác hơn nhờ quy trình lithography và etch.
Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng yếu tố quan trọng nhất vẫn là kích thước của buồng sản xuất. Hãy đảm bảo rằng kích thước của bảng điều khiển phù hợp với kích thước của bộ phận kẹp wafer, đồng thời kiểm tra khoảng cách giữa bảng điều khiển và các bộ phận khác trong buồng sản xuất. Bảng điều khiển này có thể được tích hợp với các hệ thống điều khiển hiện có thông qua các giao diện tiêu chuẩn. Việc điều chỉnh thông số của bảng điều khiển cũng rất đơn giản, chỉ cần chỉ định điện áp và loại kết nối từ trước là được.
Bảng điều khiển bằng tia hồng ngoại này không phải là giải pháp phù hợp cho mọi dây chuyền sản xuất. Nó phát huy tác dụng tốt nhất ở những nơi mà sự đồng đều về nhiệt độ là yếu tố quan trọng nhất. Nếu dây chuyền sản xuất của bạn đang cố gắng tăng tỷ lệ thành công ở các kích thước chip phức tạp, thì bảng điều khiển này chính là giải pháp mà bạn cần.