Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng vào các bộ phận của máy gia nhiệt
Việc làm nóng tấm wafer silicon đòi hỏi sự chính xác cao. Nhưng nếu bạn đã từng sử dụng các thiết bị gia nhiệt kiểu IR thông thường, bạn chắc hẳn hiểu rõ vấn đề: lượng nhiệt thừa được tạo ra.
Đó là những nguồn năng lượng hồng ngoại không tác động lên tấm wafer mà lại chiếu trực tiếp vào các bức tường bên trong buồng chân không. Kết quả là bề mặt ngoài của máy trở nên quá nóng, có thể gây bỏng cho người vận hành. Điều này đồng nghĩa với việc bạn đang lãng phí điện năng một cách vô ích.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách kiểm soát chính xác hướng phát nhiệt của các nguồn năng lượng hồng ngoại.
Kiểm soát hướng phát nhiệt
Hầu hết các bóng đèn IR đều phát nhiệt theo mọi hướng – tức là 360 độ. Trong trường hợp sử dụng các bộ phận gia nhiệt dành cho wafer, điều này gây ra nhiều phiền toái.
Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các bóng đèn IR tia ngắn kết hợp với các tấm phản xạ được thiết kế để thu hẹp hướng phát nhiệt. Hãy tưởng tượng việc chuyển từ bóng đèn thông thường sang đèn pin: năng lượng được tập trung trực tiếp lên bề mặt wafer, giúp tránh việc nhiệt lượng bị lan tỏa.
Kết quả là có một vùng nhiệt được tập trung một cách chính xác. Vì các photon không thể chạm vào thân máy, nên các bức tường của máy vẫn giữ được nhiệt độ mát mẻ.
Những điều cần lưu ý trong thực tế
Để việc này hoạt động hiệu quả, chúng tôi sử dụng các bóng đèn thạch anh có mật độ công suất cao. Những bóng đèn này rất bền, có khả năng chịu được áp lực nhiệt lớn. Tuy nhiên, bạn cần đảm bảo rằng nguồn điện cung cấp có thể đáp ứng được điện áp yêu cầu của các bóng đèn này.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: các tấm phản xạ chiếm nhiều không gian hơn so với bóng đèn thông thường. Bạn không thể đặt chúng vào các vị trí chật hẹp mà không kiểm tra kỹ lưỡng khoảng cách giữa các bộ phận. Nếu tấm phản xạ bị lệch vài milimét, bạn sẽ gặp vấn đề với việc làm nóng wafer, và quá trình gia nhiệt sẽ bị phá hỏng.
Giữ cho máy hoạt động ổn định
Ưu điểm lớn nhất của phương pháp gia nhiệt có hướng này là bạn không cần phải dùng đến các quạt làm mát công suất lớn trên thân máy nữa. Điều này giúp tạo môi trường an toàn hơn cho người vận hành máy.
Khi lắp đặt các bộ phận này, hãy kiểm tra kỹ các điểm tiếp xúc để tránh tình trạng oxy hóa. Các bóng đèn này tiêu thụ rất nhiều dòng điện; bất kỳ sự cản trở nào ở các đầu nối đều có thể khiến chúng bị cháy.
Và hãy luôn giữ cho các tấm phản xạ sạch sẽ. Chỉ cần một chút bụi trên bề mặt tấm phản xạ cũng có thể làm mất khả năng tập trung nhiệt lượng, khiến nhiệt lượng bị lan tỏa trở lại vào thân máy.