توقفوا عن إهدار الحرارة في أفران الويفرات الخاصة بكم
عند تصميم فرن لغرف نظيفة، هناك هدف واحد مهم: نقل الحرارة من المصدر إلى الويفر. بسيط، أليس كذلك؟ لكن المشكلة هي أن معظم الطاقة المستخدمة تذهب إلى جدران الفرن بدلاً من أن تُستخدم في تسخين الويفر.
لقد وجدنا حلاً لهذه المشكلة باستخدام عاكسات مغطاة بالذهب.
ربما استخدمتم عاكسات ألومنيوم تقليدية من قبل؛ إنها جيدة، لكنها تمتص كمية كبيرة من الطاقة. أما الذهب، فهو يغير الوضع، حيث يعكس نسبة أكبر من الطاقة الأشعة تحت الحمراء إلى الويفر نفسه.
لماذا الذهب؟
فكروا في كيفية عمل المصابيح الأشعة تحت الحمراء؛ فهي تصدر الطاقة في كل الاتجاهات. بدون عاكس مناسب، فإنكم تضيعون نصف الطاقة المستخدمة.
بإضافة طبقة رقيقة من الذهب على الفرن، يمكننا منع تسرب الطاقة، وبالتالي يتم توجيه الفوتونات مرة أخرى إلى الويفر. النتيجة؟ درجة حرارة أعلى بكثير، والأهم من ذلك، أن الحرارة تظل مستقرة على كامل سطح الويفر. لم يعد هناك حاجة للتخمين بشأن ما إذا كانت الحواف ساخنة مثل المنتصف.
العيب وكيفية التغلب عليه
لكن هناك عيب واحد؛ عند تركيز كمية كبيرة من الطاقة في مساحة صغيرة، فإن درجة الحرارة ترتفع كثيرًا. المصباح نفسه يبدأ في الاحتراق. إذا لم يتم تبريده بشكل صحيح، فإن أنابيب الكوارتز ستتلف بسرعة. إنها مسألة توازن؛ يجب أن تحصلوا على كفاءة عالية من الذهب، لكن يجب أيضًا توفير تدفق هواء كافٍ لمنع احتراق الأنابيب.
كيفية استخدامها في غرف نظيفة
الشيء الجيد هو أن هذه الأجهزة مصممة لتكون بديلاً سهلاً للأجهزة القديمة. لا حاجة لفك الجهاز بالكامل.
وبما أن الأجهزة المغطاة بالذهب أكثر كفاءة، فيمكنكم تقليل استهلاك الطاقة دون التأثير على سرعة العمل. نظام التهوية الخاص بكم سيشكركم، لأن الغرفة لن تصبح حارة جدًا.
نصيحة سريعة: تأكدوا من أن الأسلاك المستخدمة مناسبة للطاقة المطلوبة. إذا كان هناك انخفاض في الجهد، فإن المناطق المختلفة من الويفر ستكون بدرجات حرارة مختلفة، وهذا يفسد الغرض من استخدام الجهاز.