Cómo secar las obleas de MEMS correctamente (sin problemas de contaminación)
Al secar sensores MEMS, el calor es solo la mitad del problema. La verdadera lucha se da contra las partículas presentes en el aire.
Si trabajas en una sala limpia de clase 100, ya sabes lo que significa: un pequeño desprendimiento de gases o una partícula de material proveniente del elemento calefactor puede arruinar todo tu lote de obleas. Es un trabajo muy estresante. Por eso, optamos por usar lámparas de cuarzo sintético de alta pureza.
Por qué el cuarzo es importante
El vidrio barato o el cuarzo de baja calidad no pueden resistir las altas temperaturas. Después de unos pocos ciclos térmicos, comienzan a descomponerse y a liberar partículas microscópicas. Eso no es bueno.
Usamos sílice fundida de alta pureza, ya que sigue siendo sólida a temperaturas extremas y no libera gases. Lo mejor de esto es que la radiación infrarroja actúa directamente sobre la humedad presente en la superficie de la oblea, eliminándola al instante, sin necesidad de convertir toda la cámara en un horno.
Los detalles del diseño
Hacemos que estas lámparas sean compactas para que puedan adaptarse fácilmente a cualquier sistema de secado. El revestimiento de cuarzo está herméticamente sellado para evitar que el filamento se oxide, lo cual suele ser la causa de la contaminación. Al controlar el ciclo de halógenos dentro del tubo, mantenemos el filamento en buen estado y evitamos que se formen grietas.
Pero hay algo importante: debes elegir la densidad de potencia adecuada según el tamaño de las obleas. Claro, aumentar la potencia hace que el proceso sea más rápido. Pero también ejerce mayor presión sobre los sistemas de enfriamiento. Si excedes ese límite, podrías tener problemas de deformación térmica. Se trata de encontrar el equilibrio adecuado entre la longitud y la potencia, para que el calor se distribuya uniformemente por todo el sensor.
Algunos consejos para la instalación
Estas lámparas son sustitutos perfectos para la mayoría de las estaciones de secado de MEMS. Utilizamos conectores estándar, así que no tendrás problemas con los cables.
Solo un consejo: el cuarzo de alta pureza es frágil. Le gusta el calor, pero odia los golpes. Un impacto mecánico durante la instalación puede causar microgrietas que quizás ni siquiera puedas ver.
Y, por favor, utiliza guantes sin pelusa. Los aceites de tu piel pueden causar puntos calientes en el vidrio, lo que acelera el deterioro de la lámpara.